一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元

    公开(公告)号:CN119764834A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411701196.7

    申请日:2024-11-26

    Abstract: 本发明公开了一种RF MEMS开关的太赫兹可编程超表面单元,属于通信技术领域,包括:第二衬底;正极控制线;背覆地;第一衬底;直流接地柱;上贴片;信号线;RF MEMS开关;直流偏置线结构。通过直流电压变化来控制开关的断开与导通,实现超表面单元180°反射相位差,本发明达到了技术效果:(1)180°反射相位差工作带宽大,在285GHz到320GHz,反射相位差范围在172°到193°;(2)反射相位高线性度,在285GHz到320GHz,开关down态时的反射相位范围在117°到52°,开关up态时的反射相位范围在‑53°到‑129°;(3)加工工艺要求低,开关的第二层锚点和下电极分别采用偏置线相连,减少电极打孔数量;(4)偏置线部分使用金属,减小偏置线的分压,降低驱动电压。

    一种低应力太赫兹RF MEMS开关
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118630439A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410898535.9

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本发明公开了一种低应力太赫兹RF MEMS开关,属于射频微机电系统技术领域,包括:背覆金属;衬底;共面波导信号线;共面波导地;下电极;梁锚点;上金属梁锚点;上金属梁,和所述上金属梁锚点通过圆弧相接;上金属电极;信号桥;裙边梁;电极介质层;直流馈电结构;空气桥。本发明达到了技术效果:使用裙边梁结构,开关下拉变形后应力分布均匀,减小开关翘曲变形;梁中通过圆弧相接,无应力集中,具有低驱动电压;圆弧相接增大了相接处长度,减小开关循环造成的断裂风险,提高开关疲劳寿命;采用复合梁结构,使得电极和信号桥分离,减少直流电对射频信号的干扰;开关在太赫兹频段具有较好隔离度和低插入损耗。

    一种太赫兹波段MEMS复合梁开关
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116799451A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310783506.3

    申请日:2023-06-29

    Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波段MEMS复合梁开关,属于射频前端器件技术领域。其由直流端口金属块,直流偏置线,微带线匹配结构,复合梁,中间导通结构,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底,金属地组成。该开关为复合固支梁电容式开关,复合梁由二氧化硅材料固支梁及吸附在其下方的金属梁组合而成,直流端口分别经过直流偏置线连接到金属梁锚点位置及金属电极,可以通过直流端口输入不同直流电压控制复合梁的抬起状态与吸附到电极的下拉状态,分别对应着开关的断开状态与导通状态。本发明可以在太赫兹波段350GHz频率以下实现高隔离度:微秒量级的响应时间,且不易发生破坏性形变;结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。

    一种压电式自发电微能收集装置及方法

    公开(公告)号:CN111585469A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010520797.3

    申请日:2020-06-10

    Abstract: 本发明公开了一种压电式自发电微能收集装置及方法,涉及电子电路领域。压电式自发电微能收集装置包括:用于设置在振源上的压电振子,压电振子包括导电板,以及位于导电板的双侧或者任意一侧且与导电板贴合设置的压电片;储能电容;以及用于将交流电整流成直流电的整流桥,其中,所述整流桥的两个输入端分别与所述压电片的外侧面和导电板电连接,所述整流桥的两个输出端分别与所述储能电容的两端电连接。从而将现实生活中的振源加以利用,通过压电式自发电微能收集装置将振动产生的电能收集起来,可使用于微能量需求环境下的工作电路,从而实现能量的二次回收利用。

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