公开(公告)号：CN106895931A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201710291096.5

申请日：2017-04-28

Applicant: 北京航空航天大学

Inventor： 苗伟宁 ,  郑爽 ,  肖梦婕 ,  田野 ,  江雷

IPC: G01L1/22 ,  G01L9/04

CPC classification number: G01L1/22 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器及其制造方法。本发明通过使用阳极氧化铝模板在硅橡胶基底上引入团簇的纳米线结构，在其上面喷镀一层金属膜作为导电层，相对于无结构的基底极大地提高了柔性应力传感器的拉伸范围，同时传感器具有极高的灵敏度。本发明的传感器通过中间存在的纳米线结构减缓基底拉伸对顶部金属膜的影响，避免了金属膜贯穿性裂痕的产生和电阻值的急剧上升，从而提高基于金属膜的传感器拉伸范围。本发明的柔性应力传感器具有以下优点：具有大的拉伸范围，最大可以探测130％的形变；极高的灵敏度，灵敏度参数(GaugeFactor)最高达到3.3×107，初始状态最小可探测0.015％的形变；制备流程简单，成本低。