一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法

    公开(公告)号:CN113913773A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111062039.2

    申请日:2021-09-10

    摘要: 本发明提供了一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法,该镀制装置包括公转平台、自转机构、两个镀膜组件;自转机构安装在公转平台上,与公转平台中心轴线保持一定距离;自转机构上设置装配半球谐振子的凹槽;两个镀膜组件安装在公转平台上方、并与公转平台中心轴线保持一定距离;两个镀膜组件均包括靶材,靶材朝向公转平台、与公转平台中心轴线形成夹角;公转平台、自转机构同时进行公转、自转,两个镀膜组件与公转平台中心轴线形成不同角度、互相配合进行镀膜。本发明采用双金属靶多角度同时镀制同种膜层材料,两个靶材与谐振子角度不同,避免出现盲区,可有效提升膜层镀制效率,另外双靶位同时溅射,明显改善膜层致密性、膜层应力等性能指标。

    一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法

    公开(公告)号:CN113913773B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202111062039.2

    申请日:2021-09-10

    摘要: 本发明提供了一种半球谐振子金属膜层镀制装置和方法,该镀制装置包括公转平台、自转机构、两个镀膜组件;自转机构安装在公转平台上,与公转平台中心轴线保持一定距离;自转机构上设置装配半球谐振子的凹槽;两个镀膜组件安装在公转平台上方、并与公转平台中心轴线保持一定距离;两个镀膜组件均包括靶材,靶材朝向公转平台、与公转平台中心轴线形成夹角;公转平台、自转机构同时进行公转、自转,两个镀膜组件与公转平台中心轴线形成不同角度、互相配合进行镀膜。本发明采用双金属靶多角度同时镀制同种膜层材料,两个靶材与谐振子角度不同,避免出现盲区,可有效提升膜层镀制效率,另外双靶位同时溅射,明显改善膜层致密性、膜层应力等性能指标。

    一种高集成度的光纤电流互感器

    公开(公告)号:CN110988431A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911188987.3

    申请日:2019-11-28

    IPC分类号: G01R15/24

    摘要: 本发明提供了一种高集成度的光纤电流互感器,包括:采集单元、多芯保偏光缆和n路传感环圈;所述采集单元通过所述多芯保偏光缆与所述n路传感环圈相连;所述采集单元包括光源驱动电路、光源、1×n耦合器、处理电路和n个采集子单元,所述处理电路用于对n路带有电流信息的光进行解算得到n路独立的电流信号;所述处理电路还用于根据n路带有电流信息的光得到n路对应的光功率,并基于n路对应的光功率判断各路光功率是否存在异常以及各路光功率之间是否存在不平衡。本发明提升了光纤电流互感器的集成度,能够更好地满足某些对体积要求高的应用场合,且通过处理电路来调节各路之间光功率不平衡的问题,提高了高集成度光纤电流互感器的测量精度。

    一种用于温度补偿的四分之一波片的制作方法

    公开(公告)号:CN111175968B

    公开(公告)日:2021-10-19

    申请号:CN201811342255.0

    申请日:2018-11-13

    IPC分类号: G02B27/00 G02B5/30 G01R15/24

    摘要: 本发明公开了一种用于光纤电流互感器温度补偿的四分之一波片的制作方法,它能够在批量化生产过程中实现光纤电流互感器在全温范围内电流比差的稳定一致,降低产品的不良率,保证光纤电流互感器的长期工作准确性和稳定性。包括如下步骤:(1)光纤电流互感器数学模型建立;(2)椭圆芯光纤相位延迟量测量;(3)四分之一波片制作工艺。本发明的优点是,所述四分之一波片制作工艺方案稳定一致,可以实现在全温范围内所述光纤电流互感器系统电流比差的稳定性和一致性,从而提高了光纤电流互感器系统的性能和良品率。

    一种用于温度补偿的四分之一波片的制作方法

    公开(公告)号:CN111175968A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201811342255.0

    申请日:2018-11-13

    IPC分类号: G02B27/00 G02B5/30 G01R15/24

    摘要: 本发明公开了一种用于光纤电流互感器温度补偿的四分之一波片的制作方法,它能够在批量化生产过程中实现光纤电流互感器在全温范围内电流比差的稳定一致,降低产品的不良率,保证光纤电流互感器的长期工作准确性和稳定性。包括如下步骤:(1)光纤电流互感器数学模型建立;(2)椭圆芯光纤相位延迟量测量;(3)四分之一波片制作工艺。本发明的优点是,所述四分之一波片制作工艺方案稳定一致,可以实现在全温范围内所述光纤电流互感器系统电流比差的稳定性和一致性,从而提高了光纤电流互感器系统的性能和良品率。

    一种高精度的光纤电流互感器

    公开(公告)号:CN111175557A

    公开(公告)日:2020-05-19

    申请号:CN201811342254.6

    申请日:2018-11-13

    IPC分类号: G01R15/24

    摘要: 本发明公开了一种高精度的光纤电流互感器,包括采集单元、保偏光缆、传感环圈及导线抱箍,其中,采集单元通过保偏光缆与传感环圈连接,传感环圈上套有导线抱箍。本发明的优点是,1)本发明克服了过去光纤电流互感器单母线结构测量精度有限的技术现状,创新性地提出了光纤电流互感器综合等效匝数的概念,可以根据额定电流和精度要求来设计该参数;2)本发明通过在传感环圈外设计安装一种多匝导线缠绕结构,可通过联合增加导线匝数和光纤匝数来提高光纤电流互感器的综合等效匝数并进而大大提升测试精度,能满足直流换流站不平衡电容塔等特殊应用条件下对安培级甚至更微小交直流电流测量的需求。