公开(公告)号：CN119510353A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411503922.4

申请日：2024-10-25

Applicant: 北京空间机电研究所

Inventor： 刘威剑 ,  黄阳 ,  吕玮东 ,  赵英龙 ,  张生杰 ,  王聪 ,  牛锦川 ,  宋俊儒 ,  刘志远 ,  金忠瑞 ,  马静

IPC: G01N21/45 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明公开一种基于模型计算的红外材料光学均匀性检测方法。利用球面干涉仪搭建斜入射平板样品表面的面形检测光路，调整球面反射镜使得干涉条纹稀疏；再将样品翻转180°，对平板样品的另一个表面面形进行测量；利用球面干涉仪搭建正入射平板样品表面的光学均匀性检测光路，调整球面反射镜使得干涉条纹稀疏；将平板样品移出干涉光路，测得干涉仪与球面反射镜的空腔测量结果；建立球面干涉仪正入射平板样品的光线追迹模型，将平板样品光学均匀性用多项式进行表征，多项式系数以及平板样品到干涉仪的距离作为迭代计算的变量，球面干涉仪正入射平板样品测量得到的波前数据作为迭代计算的目标值，迭代计算得到平板样品光学均匀性的数学表达式。