公开(公告)号：CN103112818B

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201310063299.0

申请日：2013-02-28

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  李馨 ,  齐俊杰 ,  张骐 ,  张虹

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明一种利用扫描电镜在单根微纳线上制作金属电极的方法，属于微纳器件设计及制造领域。本发明仅利用简单的扫描电镜及镀膜仪，通过在单根微纳线两端制作金属电极。电极覆盖在微纳线上面，与微纳线形成稳固的电极接触，保证了电性能测量过程中信号的稳定性。作为电极的金属可以有多种选择，为设计构建多种形式的微纳器件提供了技术支持。制作过程不使用FIB等昂贵设备，达到了制作同样电极的效果，节约成本，简便易行。

公开(公告)号：CN103112818A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310063299.0

申请日：2013-02-28

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  李馨 ,  齐俊杰 ,  张骐 ,  张虹

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明一种利用扫描电镜在单根微纳线上制作金属电极的方法，属于微纳器件设计及制造领域。本发明仅利用简单的扫描电镜及镀膜仪，通过在单根微纳线两端制作金属电极。电极覆盖在微纳线上面，与微纳线形成稳固的电极接触，保证了电性能测量过程中信号的稳定性。作为电极的金属可以有多种选择，为设计构建多种形式的微纳器件提供了技术支持。制作过程不使用FIB等昂贵设备，达到了制作同样电极的效果，节约成本，简便易行。