公开(公告)号：CN1670239A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN200510011554.2

申请日：2005-04-11

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张波萍 ,  焦力实 ,  张芸 ,  刘玮书

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明供了一种金银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法，属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料技术领域。在溅射设备内同时安装Au、Ag和氧化物三个溅射靶，在每个溅射靶和基板前分别设置遮板，通过对金属和氧化物的沉积速度的单独控制，制备出具有纳米层状特征的金银纯金属纳米颗粒分散氧化物复合薄膜；具体步骤为：先制备Au或Ag纳米颗粒单层膜，再沉积氧化物膜，然后沉积Au或Ag纳米颗粒单层膜，之后再沉积一层氧化物膜。按上述顺序交替沉积，制成具有层状结构的金银纯金属纳米颗粒分散氧化物薄膜。其优点在于：具有优良的非线形光学特性。

公开(公告)号：CN100383275C

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200510011554.2

申请日：2005-04-11

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张波萍 ,  焦力实 ,  张芸 ,  刘玮书

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明供了一种金银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法，属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料技术领域。在溅射设备内同时安装Au、Ag和氧化物三个溅射靶，在每个溅射靶和基板前分别设置遮板，通过对金属和氧化物的沉积速度的单独控制，制备出具有纳米层状特征的金银纯金属纳米颗粒分散氧化物复合薄膜；具体步骤为：先制备Au或Ag纳米颗粒单层膜，再沉积氧化物膜，然后沉积Au或Ag纳米颗粒单层膜，之后再沉积一层氧化物膜。按上述顺序交替沉积，制成具有层状结构的金银纯金属纳米颗粒分散氧化物薄膜。其优点在于：具有优良的非线形光学特性。