公开(公告)号：CN106495088A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201610844667.9

申请日：2016-09-22

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 张跃 ,  杨闻帅 ,  马明园 ,  廖庆亮 ,  陈步航 ,  徐肖慧 ,  何奕霖

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00349 ,  B81C1/00015 ,  B81C2201/01

Abstract: 本发明涉及纳米技术领域，提供了一种模板热压制备维纳结构表面形貌的方法，包括：一、预处理：对固定基板、压印模板，基底薄膜材料进行清洗；二、组装：将压印模板和基底薄膜材料紧密贴合并使用上下固定基板固定，形成薄膜层--模板层层叠体；三、加热压印，薄膜-模板层叠体加热，施加压力500~600N，维持20~30min；四、脱模，层叠体放入乙醇中，超声之后将压印模板和基底薄膜材料分离。本发明的有益效果为：构建薄膜-模板层叠体，加热脱模后得到具有微纳结构表面形貌的聚合物薄膜。该方法不仅能得到尺寸小、重复性好的微纳结构表面形貌，而且制备工艺简单，成本低廉，可广泛应用于纳米压印以及微电子技术等领域。