公开(公告)号：CN111580265B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN202010349895.5

申请日：2020-04-28

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 薛原 ,  谢会开 ,  王鹏

IPC: G02B26/08 ,  B81B7/02 ,  B81C3/00

Abstract: 公开了一种微机电系统微镜及其制作方法，该微镜包括：驱动器，驱动器包括驱动部和由驱动部支撑的结构平台，驱动部带动结构平台移动或转动；镜面结构，位于结构平台远离驱动部的一侧，且镜面结构远离结构平台的一侧至少具有一个可反射镜面；定位结构，包括至少一个凸起部和至少一个凹陷部，凸起部和凹陷部中的任意一者位于结构平台上，另一者位于镜面结构上，且凸起部与凹陷部相匹配，其中，结构平台在驱动部的带动下向靠近镜面结构的方向运动，由定位结构将结构平台和镜面结构相互连接匹配，形成微机电系统微镜。通过驱动部来使结构平台朝向镜面结构运动，又有定位部使二者相匹配，提高了微镜的表面质量，且无需人工参与，保护了微镜结构。

公开(公告)号：CN119394439A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202411067061.X

申请日：2024-08-05

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  北京理工大学 ,  无锡微文半导体科技有限公司

Inventor： 薛原 ,  刘强强 ,  赵瑞凡 ,  陈超 ,  谢会开

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02 ,  G01N21/35

Abstract: 本申请公开了一种高光谱成像装置，是基于MEMS微镜的微型傅里叶变换光谱仪为核心的高光谱系统，包含光束处理单元、含MEMS矩阵式微镜的迈克尔逊干涉系统、单颗/阵列式光电探测器。MEMS矩阵式微镜接收二维平面图像的每个子区域的光信号并产生与之对应的干涉信号。单颗/阵列式光电探测器接收干涉信号，并根据干涉信号和二维平面图像处理后得到被测物体的高光谱图像立方体，以实现将被测物体分区块检测的功能。本申请具备以下特点：矩阵式微镜的每颗微镜单独运动，将该子区域的光束调制后，依次传入单颗光电探测器最后按顺序拼接成整张图像，或者传入阵列式光电探测器实现一次成像。

公开(公告)号：CN119355957A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411618113.8

申请日：2024-11-13

Applicant: 重庆邮电大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 谢会开 ,  朱纪星 ,  迟子惠 ,  庞岳鑫 ,  薛博伦 ,  曹继强 ,  薛原 ,  彭喆

IPC: G02B27/00 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明公开了一种电磁MEMS微镜的光栅扫描矫正方法及系统，属于光栅扫描矫正技术领域，方法包括：采集电磁MEMS微镜产品在三维空间中的实时三轴姿态信息、微镜快慢轴压阻信号；以角度差值作为误差信号进行PID控制，输出扫描视场修正后的MEMS微镜的快慢轴的驱动电压，进而映射得到微镜扫描的修正角度；将修正角度作为PID控制的输入，通过最小化微镜的转动角度与修正角度之间的跟踪误差，实现对微镜的转动角度进行修正。通过采集电磁MEMS微镜产品的三轴姿态信息，并将三轴姿态信息与标准三轴姿态信息之间的角度差值引入至PID控制，以调节快慢轴驱动信号，进而对微镜转动角度的修正，实现对光栅扫描光栅畸变的矫正和补偿，保证了对三维点云的重建质量的精准度。