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公开(公告)号：CN118567091A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410836651.8
申请日：2024-06-26
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于双二维MEMS微镜的视场可变光路系统及扫描方法，属于扫描微镜技术领域，包括第一MEMS微镜和第二MEMS微镜，所述第一MEMS微镜和所述第二MEMS微镜用于进行视场光线的二维扫描；透镜组，所述透镜组具有焦距，用于将视场光线聚焦或发散成像于成像接收面；成像接收面，用于接收依次经过第一MEMS微镜、第二MEMS微镜和透镜组的视场光线；MEMS微镜驱动电路，至少用于控制第一MEMS微镜和第二MEMS微镜的偏转。本发明通过双二维MEMS微镜对X和Y视场光线进行扫描，经双二维MEMS微镜扫描偏转角度互相补偿方法，实现X和Y视场与光学系统共光轴平面，使得视场信息无丢失，成像后的图像无偏转，有利于进一步对图像进行处理。
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