公开(公告)号：CN117848202A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202410040998.1

申请日：2024-01-09

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  北京理工大学

Inventor： 张新超 ,  谢会开 ,  王效峰 ,  向东 ,  范路遥 ,  王东琳

IPC: G01B7/30

Abstract: 本发明提供了一种MEMS微镜的角度和方向检测系统及方法，包括：MEMS微镜，其镜面在信号驱动下进行转动；电极板，设置于MEMS微镜镜面近处，并与MEMS微镜镜面形成电容，在MEMS微镜镜面转动时产生电信号；信号采集电路，用于采集由镜面转动产生的电信号，并进行预处理后送至处理器；以及处理器，用于为提供控制信号以驱动微镜进行转动，以及接收信号采集电路发送的信号，并解析出微镜偏转角度和方向信息。本发明可以稳定提取出高精度的反映微镜偏转角度和偏转方向的位置反馈信号；在不影响微镜转动的情况下实时反馈微镜偏转角度的同时获取微镜当前运动方向，降低了微镜设计和制造工艺复杂度。

公开(公告)号：CN117420673A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202311345999.9

申请日：2023-10-18

Applicant: 北京理工大学 ,  北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 周文彪 ,  谢会开 ,  范路遥 ,  贾云飞 ,  王效峰 ,  张新超

IPC: G02B26/08 ,  G03B15/02 ,  G03B15/06 ,  G02B27/09

Abstract: 本发明公开的基于MEMS微镜的高精度结构光条纹产生系统及方法，属于3D成像技术领域。本发明通过实时检测微镜当前运动的最大偏转角和相位差延时，实时修改微镜的驱动频率，实现MEMS微镜投影视场的稳定，避免温度、湿度等环境的干扰。通过构建MEMS微镜等间隔扫描模型，固定MEMS微镜投影视场，使得仅依靠FPGA即能够实现高精度、高实时性的微镜控制。通过实时对MEMS的变速运动导致相机采集时每一个投影像素的曝光时间不同进行激光电流补偿，使得投影出的结构光条纹精度高、灰度分布均匀。通过对激光驱动电路中激光驱动芯片和激光器的输入输出的非线性进行补偿，使得结构光条纹产生系统能够产生任意光强的激光束，实现高精度的结构光条纹投影。

公开(公告)号：CN218097631U

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202222585287.1

申请日：2022-09-28

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 ,  北京理工大学 ,  重庆虹势科技有限公司

Inventor： 张新超 ,  张瑞浩 ,  谢会开 ,  郑栋

IPC: G01B11/25 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS的3D结构光测量系统，该系统包括同步控制电路、微镜驱动控制电路、微镜位置检测电路、激光驱动控制电路、图像运算处理器电路、图像采集设备、光源和MEMS微镜；所述同步控制电路分别与所述微镜驱动控制电路、所述微镜位置检测电路、所述激光驱动控制电路、所述图像运算处理器电路和所述图像采集设备连接；所述激光驱动控制电路与所述光源连接；所述微镜驱动控制电路分别与所述微镜位置检测电路和所述MEMS微镜连接；所述图像运算处理器电路与所述图像采集设备连接。本实用新型有效地解决了现有结构光测量系统速度低、功耗高、体积大的问题。

公开(公告)号：CN307854088S

公开(公告)日：2023-02-21

申请号：CN202230700637.7

申请日：2022-10-24

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Designer： 王效峰 ,  杨燕鎏 ,  蒋金涛 ,  刘晓燕 ,  张新超 ,  赖俊霖

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：近红外光机模组。
2.本外观设计产品的用途：三维建模领域，用作投出结构光图案。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN307645815S

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202230560511.4

申请日：2022-08-26

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Designer： 王效峰 ,  杨燕鎏 ,  蒋金涛 ,  刘晓燕 ,  张新超 ,  赖俊霖

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：3D工业相机。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计主要用于获取物体的深度信息、三维尺寸。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.右视图与左视图对称，省略右视图。