公开(公告)号：CN114985942B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN202210810761.8

申请日：2022-07-11

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  郭茂林 ,  王素梅 ,  王猛猛 ,  李欣 ,  董希明 ,  朱伟华

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073

Abstract: 本发明公开的空域整形飞秒激光实现半球谐振子跨尺度质量调平的方法，属于飞秒激光应用领域。本发明通过将高斯型飞秒激光整形为圆形形平顶光，实现光场能量均匀化，用于半球谐振子表面纳克、微克级及以上的质量去除，能够避免传统飞秒激光扫面质量去除时的底部粗糙度大、边缘毛刺多，提高半球谐振子表面修调质量；同时采用飞秒激光平凸透镜或物镜单点加工的方式，实现质量去除，对粗调后的半球谐振子进行局部微小质量不平衡精调，实现毫克‑微克‑纳克‑皮克等跨多个尺度的半球谐振子精密质量调平，提高调平精度与效率；通过调节光路中衰减片的角度位置，实现激光能量的线性调节，控制扫面加工时的深度及单点凹坑的体积大小，实现预定质量的去除。

公开(公告)号：CN114985942A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210810761.8

申请日：2022-07-11

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  郭茂林 ,  王素梅 ,  王猛猛 ,  李欣 ,  董希明 ,  朱伟华

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073

Abstract: 本发明公开的空域整形飞秒激光实现半球谐振子跨尺度质量调平的方法，属于飞秒激光应用领域。本发明通过将高斯型飞秒激光整形为圆形形平顶光，实现光场能量均匀化，用于半球谐振子表面纳克、微克级及以上的质量去除，能够避免传统飞秒激光扫面质量去除时的底部粗糙度大、边缘毛刺多，提高半球谐振子表面修调质量；同时采用飞秒激光平凸透镜或物镜单点加工的方式，实现质量去除，对粗调后的半球谐振子进行局部微小质量不平衡精调，实现毫克‑微克‑纳克‑皮克等跨多个尺度的半球谐振子精密质量调平，提高调平精度与效率；通过调节光路中衰减片的角度位置，实现激光能量的线性调节，控制扫面加工时的深度及单点凹坑的体积大小，实现预定质量的去除。

公开(公告)号：CN116079236A

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN202211103867.0

申请日：2022-09-09

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 姜澜 ,  董希明 ,  李晓炜 ,  王猛猛 ,  王素梅 ,  张向宇 ,  郭茂林

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明涉及一种垂直偏振飞秒激光脉冲序列实现半球谐振子质量调平的方法，属于激光应用技术领域。本发明的目的是为了解决现有半球谐振子质量调平方法精度低，效率低的问题，提供一种垂直偏振飞秒激光脉冲序列实现半球谐振子质量调平的方法；该方法高精度体现在利用脉冲序列能有效减小烧蚀区域面积，同时本工作首先发现垂直偏振的双脉冲相比传统双脉冲能降低激光对熔融石英材料烧蚀区域周围重铸层的影响，进一步提高加工精度；结合高重频和高扫速实现修调区域高效率加工。