基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统

    公开(公告)号:CN113624157B

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN202110843808.6

    申请日:2021-07-26

    Abstract: 本公开的基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统,包括干涉仪1、空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5、切换式反射镜6、反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9;空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5依次设置在所述干涉仪1的主光轴线上为第一光路,检测干涉仪主光轴线区域的被测元件5的面形区域;切换式反射镜6设置在干涉仪1的光轴线上或光轴线外,反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9依次设置在干涉仪1的主光轴线外为第二光路,检测干涉仪主光轴线外的被测元件5剩余的面形区域。可以解决干涉条纹解析困难、精度不足的问题,具有通用性强、检测精度高的优点。

    基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统

    公开(公告)号:CN113624157A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110843808.6

    申请日:2021-07-26

    Abstract: 本公开的基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统,包括干涉仪1、空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5、切换式反射镜6、反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9;空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5依次设置在所述干涉仪1的主光轴线上为第一光路,检测干涉仪主光轴线区域的被测元件5的面形区域;切换式反射镜6设置在干涉仪1的光轴线上或光轴线外,反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9依次设置在干涉仪1的主光轴线外为第二光路,检测干涉仪主光轴线外的被测元件5剩余的面形区域。可以解决干涉条纹解析困难、精度不足的问题,具有通用性强、检测精度高的优点。

    含变形镜的共形小凹红外光学系统

    公开(公告)号:CN106054381B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201610589974.7

    申请日:2016-07-25

    Abstract: 本发明涉及含变形镜的共形小凹红外光学系统,属于光学仪器技术领域。该系统包含旋转对称非球面整流罩、成像光学系统、主动光学元件变形镜以及探测器像面。系统采用符合流体动力学的非球面特殊整流罩,流体动力学性能良好;利用主动光学元件变形镜对非球面特殊整流罩的非对称像差进行校正以及对不同视场实现局部高分辨小凹成像。本发明满足介质动力学特性,结构简单,减少目标成像图像数据传输量,可广泛应用于侦查、救援等领域。

    含变形镜的共形小凹红外光学系统

    公开(公告)号:CN106054381A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610589974.7

    申请日:2016-07-25

    CPC classification number: G02B27/0025

    Abstract: 本发明涉及含变形镜的共形小凹红外光学系统,属于光学仪器技术领域。该系统包含旋转对称非球面整流罩、成像光学系统、主动光学元件变形镜以及探测器像面。系统采用符合流体动力学的非球面特殊整流罩,流体动力学性能良好;利用主动光学元件变形镜对非球面特殊整流罩的非对称像差进行校正以及对不同视场实现局部高分辨小凹成像。本发明满足介质动力学特性,结构简单,减少目标成像图像数据传输量,可广泛应用于侦查、救援等领域。

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