公开(公告)号：CN105526135B

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201510896539.4

申请日：2015-12-08

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 姚俊奇 ,  魏峰 ,  杨志民 ,  赵鸿滨

IPC分类号： F04B43/04

摘要： 本发明公开了属于微流控技术领域的一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法。所述的静电微泵是以泵腔为对称轴的为上下对称结构，泵腔的上下两侧分别为驱动单元，左右两端分别为入口和出口；驱动单元由外至内依次为固定电极、绝缘层、隔离层和泵膜，隔离层内部为不连续结构以形成驱动单元空腔，保证泵膜的振动空间；加在固定电极上的反向驱动电压的频率与泵膜的固有频率的偏离度为0‑10％，以获得共振效应，使泵膜的振幅加大。所述的静电微泵在微泵结构固定的情况下，显著降低了所需静电微泵的驱动电压，能以较低的驱动电压获得较大的泵出量，提高微泵工作效率。

公开(公告)号：CN106783854B

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201611081228.3

申请日：2016-11-30

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 赵鸿滨 ,  屠海令 ,  张国成 ,  魏峰 ,  杨志民 ,  姚俊奇

IPC分类号： H01L27/105

摘要： 本发明涉及一种黑磷烯薄膜存储器及其制备方法。黑磷烯薄膜存储器的制备方法包括如下步骤：(1)清洗衬底；(2)在衬底上形成底电极；(3)在底电极上形成黑磷烯薄膜层；(4)通过构图工艺在黑磷烯薄膜层上形成顶电极的图形；(5)在黑磷烯薄膜层上形成顶电极，得到存储器单元；(6)通过构图工艺在存储器单元上侧形成披覆层的图形；(7)最后形成披覆层，使其包覆顶电极覆盖之外的黑磷烯薄膜层，得到所述存储器。该黑磷烯薄膜存储器具有转变速度快、读写电压稳定的优点。

公开(公告)号：CN106783854A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611081228.3

申请日：2016-11-30

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 赵鸿滨 ,  屠海令 ,  张国成 ,  魏峰 ,  杨志民 ,  姚俊奇

IPC分类号： H01L27/105

CPC分类号： H01L27/105

摘要： 本发明涉及一种黑磷烯薄膜存储器及其制备方法。黑磷烯薄膜存储器的制备方法包括如下步骤：(1)清洗衬底；(2)在衬底上形成底电极；(3)在底电极上形成黑磷烯薄膜层；(4)通过构图工艺在黑磷烯薄膜层上形成顶电极的图形；(5)在黑磷烯薄膜层上形成顶电极，得到存储器单元；(6)通过构图工艺在存储器单元上侧形成披覆层的图形；(7)最后形成披覆层，使其包覆顶电极覆盖之外的黑磷烯薄膜层，得到所述存储器。该黑磷烯薄膜存储器具有转变速度快、读写电压稳定的优点。

公开(公告)号：CN105526135A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510896539.4

申请日：2015-12-08

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 姚俊奇 ,  魏峰 ,  杨志民 ,  赵鸿滨

IPC分类号： F04B43/04

CPC分类号： F04B43/0027 ,  F04B43/043

摘要： 本发明公开了属于微流控技术领域的一种反向低驱动电压双侧泵膜无阀静电微泵及其制备方法。所述的静电微泵是以泵腔为对称轴的为上下对称结构，泵腔的上下两侧分别为驱动单元，左右两端分别为入口和出口；驱动单元由外至内依次为固定电极、绝缘层、隔离层和泵膜，隔离层内部为不连续结构以形成驱动单元空腔，保证泵膜的振动空间；加在固定电极上的反向驱动电压的频率与泵膜的固有频率的偏离度为0-10％，以获得共振效应，使泵膜的振幅加大。所述的静电微泵在微泵结构固定的情况下，显著降低了所需静电微泵的驱动电压，能以较低的驱动电压获得较大的泵出量，提高微泵工作效率。