公开(公告)号：CN118980364A

公开(公告)日：2024-11-19

申请号：CN202411039593.2

申请日：2024-07-31

申请人： 北京时代民芯科技有限公司 ,  北京微电子技术研究所

发明人： 周金秋 ,  范柚攸 ,  刘威 ,  王鑫鹏 ,  陈晨 ,  王红义 ,  朱红 ,  张龙 ,  熊开利

IPC分类号： G01C19/5656 ,  G01C19/5663 ,  B81B7/02

摘要： 本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及了一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺，旨在解决现有的微机电碟形陀螺无法兼顾优值与灵敏度性能不足的问题。本发明包括：支撑锚点结构、同心环结构、弹性框架结构、辐条结构、差分驱动电极、差分检测电极和调整电极；支撑锚点结构通过辐条结构与最内层同心环结构连接；辐条结构设置于非最外层的每个同心环结构内侧，同一个同心环结构上的8个辐条结构等间隔；弹性框架结构设置于非最外层的每个同心环结构的外侧，弹性框架结构的中心对准辐条结构；差分驱动电极和差分检测电极均设置在弹性框架结构中；调整电极设置在最外层同心环结构外周，并与最外层同心环结构构成平行板电容器。