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公开(公告)号:CN112782124B
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202011569692.3
申请日:2020-12-26
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N21/47 , G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种高分辨率的连续太赫兹叠层成像方法,该方法包括用发散球面波照射物体,有效利用全部的光束能量,根据几何关系,面阵式探测器采集物体后放大了的衍射强度信息,从而增加采样,以此作为记录面约束条件,以ePIE算法流程为基础,将ePIE算法重建的物面物体复振幅透过率函数和探针函数作为初始猜测,获得衍射场的相位信息,因此可以获得足够的信息唯一地定义物体的出射光场。通过迭代数值计算的方式外推出面阵式探测器外围没有记录到的部分高衍射级次信息,扩大系统的数值孔径。该方法在不增加光路复杂性的前提下,有效提高了重建物体的横向分辨率和成像质量,降低了实验分辨率对面阵式探测器靶面尺寸和像元尺寸的要求。
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公开(公告)号:CN112782124A
公开(公告)日:2021-05-11
申请号:CN202011569692.3
申请日:2020-12-26
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N21/47 , G01N21/3581 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种高分辨率的连续太赫兹叠层成像方法,该方法包括用发散球面波照射物体,有效利用全部的光束能量,根据几何关系,面阵式探测器采集物体后放大了的衍射强度信息,从而增加采样,以此作为记录面约束条件,以ePIE算法流程为基础,将ePIE算法重建的物面物体复振幅透过率函数和探针函数作为初始猜测,获得衍射场的相位信息,因此可以获得足够的信息唯一地定义物体的出射光场。通过迭代数值计算的方式外推出面阵式探测器外围没有记录到的部分高衍射级次信息,扩大系统的数值孔径。该方法在不增加光路复杂性的前提下,有效提高了重建物体的横向分辨率和成像质量,降低了实验分辨率对面阵式探测器靶面尺寸和像元尺寸的要求。
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公开(公告)号:CN110398213B
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN201910668696.8
申请日:2019-07-23
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种连续太赫兹反射式叠层成像方法,该方法包括捕获携带被测样品信息的衍射图样,将衍射图样进行叠层重建算法重建出照明光束的复振幅和样品的透过率函数,得到被测样品的表面形貌,提取出被测样品的相位信息,从而定量推算出被塑料、陶瓷、纸张等非极性物质遮挡的被测样品表面的形貌结构。本发明有效解决了反射式样品的太赫兹叠层成像问题,从而定量得到大样品的形貌结构,真正实现大视场高分辨率快速成像。
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公开(公告)号:CN110398213A
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:CN201910668696.8
申请日:2019-07-23
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种连续太赫兹反射式叠层成像方法,该方法包括捕获携带被测样品信息的衍射图样,将衍射图样进行叠层重建算法重建出照明光束的复振幅和样品的透过率函数,得到被测样品的表面形貌,提取出被测样品的相位信息,从而定量推算出被塑料、陶瓷、纸张等非极性物质遮挡的被测样品表面的形貌结构。本发明有效解决了反射式样品的太赫兹叠层成像问题,从而定量得到大样品的形貌结构,真正实现大视场高分辨率快速成像。
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