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公开(公告)号:CN116754796A
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN202310522890.1
申请日:2023-05-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种高空间分辨率的电磁无损检测方法,属于无损检测技术领域。将微米尺寸的无磁闭合线圈制备于原子力显微镜探针尖端或悬臂梁上构成磁力传感器感应元件,来感测探针周边的耦合磁场(背景磁场和待测样品磁场)。磁场作用下磁力传感器会引起原子力显微镜悬臂梁发生偏转,再利用原子力显微镜的光电探测系统测量悬臂梁的垂直方向上的转角,即可计算出磁力矩,再设置合适的滤波器,进而解耦测得待测样品磁场。所述的电磁无损检测方法具有高空间分辨率、背景磁场抑制检测等优点,可以实现铁磁材料的漏磁、巴克豪森噪声等电磁无损测量。