公开(公告)号：CN113770512A

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202110883036.9

申请日：2021-08-02

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 季凌飞 ,  孙伟高

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/70 ,  H01L31/18 ,  B23K101/40

Abstract: 本发明提供一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法，包括以下步骤：(1)将柔性衬底与氮化镓外延片贴合；(2)调节光束焦平面位置，并保证光束从氮化镓外延片衬底一侧入射；(3)使光束从步骤(1)所得样品结构的边缘开始进行扫描辐照；(4)调整工艺参数，沿步骤(3)所述路径反方向扫描辐照；(5)取下外延片原始刚性透明衬底，获得Ga金属纳米颗粒/氮化镓薄膜/柔性衬底结构；(6)对步骤(5)所得Ga金属纳米颗粒表面制备叉指电极。本发明采用激光技术一步制备出具有Ga金属纳米颗粒原位分布探测表面的柔性氮化镓光电探测器，在简化工艺的同时诱导探测器表面形成等离激元效应(SPR)，大幅增强了光吸收及光响应性能，适用工业生产。

公开(公告)号：CN113770512B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202110883036.9

申请日：2021-08-02

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 季凌飞 ,  孙伟高

IPC: B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/70 ,  H01L31/18 ,  B23K101/40

Abstract: 本发明提供一种柔性氮化镓光电探测器激光快速制备方法，包括以下步骤：(1)将柔性衬底与氮化镓外延片贴合；(2)调节光束焦平面位置，并保证光束从氮化镓外延片衬底一侧入射；(3)使光束从步骤(1)所得样品结构的边缘开始进行扫描辐照；(4)调整工艺参数，沿步骤(3)所述路径反方向扫描辐照；(5)取下外延片原始刚性透明衬底，获得Ga金属纳米颗粒/氮化镓薄膜/柔性衬底结构；(6)对步骤(5)所得Ga金属纳米颗粒表面制备叉指电极。本发明采用激光技术一步制备出具有Ga金属纳米颗粒原位分布探测表面的柔性氮化镓光电探测器，在简化工艺的同时诱导探测器表面形成等离激元效应(SPR)，大幅增强了光吸收及光响应性能，适用工业生产。