公开(公告)号：CN101935883A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN201010279377.7

申请日：2010-09-10

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  冯驰 ,  雷訇 ,  姜孟华 ,  惠勇凌

IPC: C30B33/06 ,  C30B33/12 ,  C23F4/00

Abstract: 本发明公开了超高真空离子源晶片清洗系统，包括进样真空室、离子束真空室和磁力传送杆，两真空室由隔离阀门相连接，进样真空室上设有进样阀门、真空泵和观察玻璃窗，离子束真空室上设有观察玻璃窗、真空泵、红外烘烤灯和氢离子源，磁力传送杆贯穿进样真空室和离子束真空室，并且装有具有贴合功能的可移动的基片台，磁力传送杆可将基片台从进样真空室传送至离子束真空室，离子源可垂直对基片台上的晶片进行清洗。本系统在超高真空环境下，通过低能氢离子源对晶片的清洗，在常温或略微加温下进行晶片冷焊接，使多片键合成晶体块，获得低损耗的倍频晶体。

公开(公告)号：CN101935883B

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201010279377.7

申请日：2010-09-10

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  冯驰 ,  雷訇 ,  姜孟华 ,  惠勇凌

IPC: C30B33/06 ,  C30B33/12 ,  C23F4/00

Abstract: 本发明公开了超高真空离子源晶片清洗系统，包括进样真空室、离子束真空室和磁力传送杆，两真空室由隔离阀门相连接，进样真空室上设有进样阀门、真空泵和观察玻璃窗，离子束真空室上设有观察玻璃窗、真空泵、红外烘烤灯和氢离子源，磁力传送杆贯穿进样真空室和离子束真空室，并且装有具有贴合功能的可移动的基片台，磁力传送杆可将基片台从进样真空室传送至离子束真空室，离子源可垂直对基片台上的晶片进行清洗。本系统在超高真空环境下，通过低能氢离子源对晶片的清洗，在常温或略微加温下进行晶片冷焊接，使多片键合成晶体块，获得低损耗的倍频晶体。

公开(公告)号：CN102299474A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201110186529.3

申请日：2011-07-05

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  姜梦华 ,  惠勇凌 ,  雷訇 ,  冯驰 ,  孙哲

IPC: H01S3/23

Abstract: 本发明涉及一种多棒串接固体激光器激光晶体棒的精确对准方法，属于大功率固体激光器技术领域。本发明提供了一种脉冲或者连续激光器中多个晶体棒的串接方法。根据多棒串接谐振腔的腔长L，腔内晶体棒个数N，相邻晶体棒的间距d，晶体棒直径φ，晶体棒的平均热焦距f，通过谐振腔传输矩阵变换的方法，计算晶体棒的角度对准精度范围。利用准直的可见的指示光辅助调节，通过控制晶体棒的透射光和反射光的位置，使晶体棒达到计算的精度范围，实现晶体棒的精确对准。本发明所提供的晶体棒精确对准方法具有方法简单有效，对准精度高的特点。

公开(公告)号：CN102299469A

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN201110207779.0

申请日：2011-07-22

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  石坦 ,  谢希盈 ,  冯驰 ,  晏乐伦

IPC: H01S3/091 ,  H01S3/08 ,  H01S3/16 ,  H01S3/115

Abstract: 一种通过控制泵浦光特性实现亚纳秒调Q输出的激光器，属于全固态激光技术领域。它包含了沿光的传播方向依次设置的泵浦源，光纤耦合装置，后腔镜，激光增益介质，电光调Q元件，耦合输出镜，其中后腔镜、激光增益介质、电光调Q元件和耦合输出镜组成谐振腔。所述的泵浦源为半导体激光器，输出π向偏振的泵浦光。所述谐振腔长度小于30mm。所述激光增益介质为具有线偏振吸收特性的Nd:YVO4晶体，所述激光增益介质的输出端面沿a轴切割成布儒斯特角，所述激光增益介质的泵浦端通光面镀膜作为后腔镜。本激光器具有结构简单紧凑、易于模块化生产、输出脉冲稳定性高等优点。

公开(公告)号：CN102299474B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201110186529.3

申请日：2011-07-05

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  姜梦华 ,  惠勇凌 ,  雷訇 ,  冯驰 ,  孙哲

IPC: H01S3/23

Abstract: 本发明涉及一种多棒串接固体激光器激光晶体棒的精确对准方法，属于大功率固体激光器技术领域。本发明提供了一种脉冲或者连续激光器中多个晶体棒的串接方法。根据多棒串接谐振腔的腔长L，腔内晶体棒个数N，相邻晶体棒的间距d，晶体棒直径晶体棒的平均热焦距f，通过谐振腔传输矩阵变换的方法，计算晶体棒的角度对准精度范围。利用准直的可见的指示光辅助调节，通过控制晶体棒的透射光和反射光的位置，使晶体棒达到计算的精度范围，实现晶体棒的精确对准。本发明所提供的晶体棒精确对准方法具有方法简单有效，对准精度高的特点。

公开(公告)号：CN201826017U

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201020527492.7

申请日：2010-09-10

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 李强 ,  冯驰 ,  雷訇 ,  姜孟华 ,  惠勇凌

IPC: C23F4/00 ,  C30B33/06 ,  C30B33/12

Abstract: 本本实用新型公开了超高真空离子源晶片清洗系统，包括进样真空室、离子束真空室和磁力传送杆，两真空室由隔离阀门相连接，进样真空室上设有进样阀门、真空泵和观察玻璃窗，离子束真空室上设有观察玻璃窗、真空泵、红外烘烤灯和氢离子源，磁力传送杆贯穿进样真空室和离子束真空室，并且装有具有贴合功能的可移动的基片台，磁力传送杆可将基片台从进样真空室传送至离子束真空室，离子源可垂直对基片台上的晶片进行清洗。本系统在超高真空环境下，通过低能氢离子源对晶片的清洗，在常温或略微加温下进行晶片冷焊接，使多片键合成晶体块，获得低损耗的倍频晶体。