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公开(公告)号：CN117684124B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202410065326.6
申请日：2024-01-17
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本申请提供了一种薄膜掩膜版夹具以及薄膜掩膜版固定在夹具的固定方法，薄膜掩膜版夹具包括外框、承托部以及定位部。外框上设置有贯通的安装口；安装口设有第一卡接部，第一卡接部用于与薄膜掩膜版的第二卡接部卡接；承托部安装于安装口的底部，承托部用于放置和粘接薄膜掩膜版；定位部用于向薄膜掩膜版施加平行于安装口的轴心线的作用力，以将薄膜掩膜版定位在承托部上。该薄膜掩膜版夹具与薄膜掩膜版的固定方式为机械卡接固定加粘接固定，并且，在机械和粘接固定后，再使用定位部将薄膜掩膜版定位于承托部上，通过在平行于安装口的轴心线的方向对薄膜掩膜版施加作用力，能够提高薄膜掩膜版的平整度。
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公开(公告)号：CN117684124A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202410065326.6
申请日：2024-01-17
Applicant: 北京大学深圳研究生院
Abstract: 本申请提供了一种薄膜掩膜版夹具以及薄膜掩膜版固定在夹具的固定方法，薄膜掩膜版夹具包括外框、承托部以及定位部。外框上设置有贯通的安装口；安装口设有第一卡接部，第一卡接部用于与薄膜掩膜版的第二卡接部卡接；承托部安装于安装口的底部，承托部用于放置和粘接薄膜掩膜版；定位部用于向薄膜掩膜版施加平行于安装口的轴心线的作用力，以将薄膜掩膜版定位在承托部上。该薄膜掩膜版夹具与薄膜掩膜版的固定方式为机械卡接固定加粘接固定，并且，在机械和粘接固定后，再使用定位部将薄膜掩膜版定位于承托部上，通过在平行于安装口的轴心线的方向对薄膜掩膜版施加作用力，能够提高薄膜掩膜版的平整度。
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