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公开(公告)号：CN105890767A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510033570.5
申请日：2015-01-23
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种支撑梁式红外焦平面阵列及其制备方法，它包括硅框架、多个支撑梁和多个微悬臂梁像元。多个支撑梁交错排布搭接在硅框架上，将硅框架包围的窗口分割成多个尺寸、形状完全相同的小窗口，每个小窗口内镶嵌着一个微悬臂梁像元。采用支撑梁支撑微悬臂梁像元方法避免了干法刻蚀制备硅框架式红外焦平面阵列产生的微悬臂梁像元间的不均匀性问题，同时减小了框架的占用面积，提高了填充因子。矩形支撑梁的支撑强度高，可减小背镂空红外焦平面阵列的像面形变问题。此外，支撑梁分割的小窗口可以多个小窗口为一组，每组小窗口错位排布，从而释放支撑梁内部的应力，减小红外焦平面阵列的弯曲形变，提高了器件的可靠性。
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