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公开(公告)号：CN100380139C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200510136315.X
申请日：2005-12-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型结构；然后以金属负型结构为模板浇铸有机聚合物，经固化后得到表面具有与生物模板一致的纳米结构的有机聚合物薄膜。本发明的抗反射薄膜制备技术工艺简单、成本低、产率高，并可实现大面积的纳米结构制备，所制备的带有表面纳米结构的有机聚合物薄膜具有很强的抗反射效果，成功模仿了生物表面纳米结构的抗反射功能，在光学上具有广泛的应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1799857A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510136314.5
申请日：2005-12-31
Applicant: 北京大学
IPC: B41M5/26
Abstract: 本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与生物模板相对应的负型结构，从而实现生物表面纳米结构的复制其及特殊功能的模仿。本发明直接以自然界存在的生物表面纳米结构为纳米压印模板，避免了常规模板制备的复杂工艺，而且，生物表面结构在生长过程中形成了一层自然抗粘层，可以进一步简化工艺，降低成本。本发明所用生物模板可以进行多次压印，重复使用，并可实现大面积的纳米结构制备。
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公开(公告)号：CN1807222A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510133649.1
申请日：2005-12-27
Applicant: 北京大学 , 国家纳米技术产业化基地
Abstract: 一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：(1)应用刻蚀技术制备纳米压印模板；(2)应用纳米压印技术复制悬臂图形；(3)应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越性在于：1.通过制备模板，以纳米压印技术实现图形的复制与转移，具有工艺简单、速度快、重复性好、费用低、产率高等优点；2.应用各向同性干法反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构，避免了湿法化学腐蚀工艺中悬臂与基底的粘结及溶液对结构的污染现象。
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公开(公告)号：CN100396595C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200510133649.1
申请日：2005-12-27
Applicant: 北京大学 , 国家纳米技术产业化基地
Abstract: 一种应用纳米压印和反应离子刻蚀技术制备纳米悬臂结构的方法，其特征在于它包括以下三个步骤：(1)应用刻蚀技术制备纳米压印模板；(2)应用纳米压印技术复制悬臂图形；(3)应用各向同性反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构。本发明的优越性在于：1、通过制备模板，以纳米压印技术实现图形的复制与转移，具有工艺简单、速度快、重复性好、费用低、产率高等优点；2、应用各向同性干法反应离子刻蚀技术悬空悬臂结构，避免了湿法化学腐蚀工艺中悬臂与基底的粘结及溶液对结构的污染现象。
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公开(公告)号：CN100382980C
公开(公告)日：2008-04-23
申请号：CN200510136314.5
申请日：2005-12-31
Applicant: 北京大学
IPC: B41M5/26
Abstract: 本发明的生物模板纳米压印方法主要工艺过程如下：首先在硅片表面涂一层压印胶并干燥，将生物模板具有纳米结构的一面向下置于压印胶表面，并在其上盖另一硅片，然后将之放入纳米压印设备在加热加压条件进行压印，退模后于压印胶表面得到与生物模板相对应的负型结构，从而实现生物表面纳米结构的复制其及特殊功能的模仿。本发明直接以自然界存在的生物表面纳米结构为纳米压印模板，避免了常规模板制备的复杂工艺，而且，生物表面结构在生长过程中形成了一层自然抗粘层，可以进一步简化工艺，降低成本。本发明所用生物模板可以进行多次压印，重复使用，并可实现大面积的纳米结构制备。
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公开(公告)号：CN1794017A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200510136315.X
申请日：2005-12-31
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种以自然界存在的生物纳米结构为模板，通过二级复制制备抗反射薄膜的方法。所用的生物模板包括昆虫复眼和翅膀表面所具有的抗反射光子晶体，首先以生物纳米结构为模板真空蒸镀金属，于金属薄膜上得到与生物模板相对应的负型结构；然后以金属负型结构为模板浇铸有机聚合物，经固化后得到表面具有与生物模板一致的纳米结构的有机聚合物薄膜。本发明的抗反射薄膜制备技术工艺简单、成本低、产率高，并可实现大面积的纳米结构制备，所制备的带有表面纳米结构的有机聚合物薄膜具有很强的抗反射效果，成功模仿了生物表面纳米结构的抗反射功能，在光学上具有广泛的应用。
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