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公开(公告)号：CN101886252A
公开(公告)日：2010-11-17
申请号：CN201010246958.0
申请日：2010-08-06
Applicant: 北京大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/513 , G02B1/04 , G02B1/10
Abstract: 本发明公开了一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法，属于光学镜片制备技术领域。该方法以PC树脂镜片为基体，采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)技术在PC基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜。本发明利用PECVD技术特点，即基体温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂，最终获得耐磨性和透光性良好的光学镜片。
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