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公开(公告)号:CN108031836B
公开(公告)日:2019-12-03
申请号:CN201810058057.5
申请日:2018-01-22
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明提供了一种金属‑金属氧化物纳米复合材料的制备方法,先提供附着有金属氧化物薄膜的导电衬底;对所述金属氧化物薄膜进行电子束辐照,得到金属纳米颗粒;将所述金属纳米颗粒置于含氧气氛围中,进行氧化反应,得到金属‑金属氧化物纳米复合材料。本发明提供的方法采用电子束辐照,操作简单,工艺周期短,极大简化了金属‑金属氧化物纳米复合材料的制备工艺,且整个制备过程不需要使用溶剂等化学药品,对环境无污染。
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公开(公告)号:CN108031836A
公开(公告)日:2018-05-15
申请号:CN201810058057.5
申请日:2018-01-22
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种金属‑金属氧化物纳米复合材料的制备方法,先提供附着有金属氧化物薄膜的导电衬底;对所述金属氧化物薄膜进行电子束辐照,得到金属纳米颗粒;将所述金属纳米颗粒置于含氧气氛围中,进行氧化反应,得到金属‑金属氧化物纳米复合材料。本发明提供的方法采用电子束辐照,操作简单,工艺周期短,极大简化了金属‑金属氧化物纳米复合材料的制备工艺,且整个制备过程不需要使用溶剂等化学药品,对环境无污染。
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