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公开(公告)号：CN103000362B
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201210526634.1
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微纳加工领域，特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感，和折叠之前相比，性能有明显提升；和传统工艺制备的三维立体电感相比，具有工艺步骤简单，成本低的优点。利用本方法制备的电感具有性能好，体积小，柔性（可弯曲可折叠），生物兼容性好，制备方法简单等特点，并可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。
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公开(公告)号：CN103011061A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210551994.7
申请日：2012-12-18
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微机械系统制造领域，具体涉及微纳米加工技术领域，尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法，包括任选的处理基底；电镀Cu线圈；电镀Cu支撑柱；电镀Cu振动板与折形梁；电镀永磁体阵列；去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。这种能量采集器能够通过线圈的串联来提高输出电压。通过永磁体CoNiMnP合金的制备可以实现整体集成化加工的要求。同时新结构的设计使得能量采集器的输出电压有较大的提升，使得采集能量的效率得到了极大的提升。同时，通过改变永磁体阵列的几何尺寸和摆放位置，也可以实现对能量采集器的优化。通过振动板与折形梁的厚度和长度的改变，可以实现对输出电压和谐振频率的改变。
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公开(公告)号：CN103000362A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210526634.1
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微纳加工领域，特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感，和折叠之前相比，性能有明显提升；和传统工艺制备的三维立体电感相比，具有工艺步骤简单，成本低的优点。利用本方法制备的电感具有性能好，体积小，柔性（可弯曲可折叠），生物兼容性好，制备方法简单等特点，并可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103011061B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201210551994.7
申请日：2012-12-18
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及微机械系统制造领域，具体涉及微纳米加工技术领域，尤其涉及一种可集成化加工的振动能量采集器的制造方法，包括任选的处理基底；电镀Cu线圈；电镀Cu支撑柱；电镀Cu振动板与折形梁；电镀永磁体阵列；去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。这种能量采集器能够通过线圈的串联来提高输出电压。通过永磁体CoNiMnP合金的制备可以实现整体集成化加工的要求。同时新结构的设计使得能量采集器的输出电压有较大的提升，使得采集能量的效率得到了极大的提升。同时，通过改变永磁体阵列的几何尺寸和摆放位置，也可以实现对能量采集器的优化。通过振动板与折形梁的厚度和长度的改变，可以实现对输出电压和谐振频率的改变。
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公开(公告)号：CN103043599A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210525175.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤：（A）衬底上生长柔性薄膜；任选的（A1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；任选的（A2）溅射种子层；（B）电镀线圈；（C）电镀磁芯；任选的步骤（C1）去除光刻胶和去除种子层；（D）生长柔性薄膜；任选的（D1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；（E）剥离电感，得到柔性聚合物衬底的三明治结构螺旋电感。通过在柔性衬底上电镀铜线圈和铁镍磁芯得到的微型三明治结构螺旋电感L值和Q值高，面积小，可折叠，生物兼容性好，工艺简单，成本低。制得的电感可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。
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公开(公告)号：CN102995083B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201210526589.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法，该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例，从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工艺简单，易于实现，成本低廉、便于控制实验过程等优点。同时电镀液配方可以自行调整，具有极大的灵活性。在光刻之后进行便于与其他工艺集成化。制作出来的阵列在2000μm*2000μm的单元中，便于测量。通过阵列的制造方法，铁镍合金材料的软磁性能得到了极大的提升。同时纳米磁颗粒的加入也对材料的磁性有较大的提升。
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公开(公告)号：CN103043599B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201210525175.5
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种基于柔性聚合物衬底的螺旋电感的制备方法。包括如下步骤：（A）衬底上生长柔性薄膜；任选的（A1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；任选的（A2）溅射种子层；（B）电镀线圈；（C）电镀磁芯；任选的步骤（C1）去除光刻胶和去除种子层；（D）生长柔性薄膜；任选的（D1）在薄膜上溅射种子层，电镀磁性材料，生长柔性薄膜；（E）剥离电感，得到柔性聚合物衬底的三明治结构螺旋电感。通过在柔性衬底上电镀铜线圈和铁镍磁芯得到的微型三明治结构螺旋电感L值和Q值高，面积小，可折叠，生物兼容性好，工艺简单，成本低。制得的电感可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。
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公开(公告)号：CN102995083A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210526589.X
申请日：2012-12-07
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明的目的在于提供一种采用电镀来制备软磁材料铁镍合金阵列的方法，该方法采用特定的电镀液配方达到最优化的合金的比例，从而实现最好的软磁性能。可以在0.15μm的种子层上生长出高度均一的10μm-50μm的薄膜。并且具有工艺简单，易于实现，成本低廉、便于控制实验过程等优点。同时电镀液配方可以自行调整，具有极大的灵活性。在光刻之后进行便于与其他工艺集成化。制作出来的阵列在2000μm*2000μm的单元中，便于测量。通过阵列的制造方法，铁镍合金材料的软磁性能得到了极大的提升。同时纳米磁颗粒的加入也对材料的磁性有较大的提升。
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