基于多步掠射角沉积法的锑化铟纳米线制备与锰掺杂方法

    公开(公告)号:CN105862122B

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201610300708.8

    申请日:2016-05-09

    Applicant: 北京大学

    Abstract: 本发明涉及种基于多步掠射角沉积法的锑化铟纳米线制备与锰掺杂方法。首先采用多步掠射角沉积技术制备单晶纯In纳米线;然后在纯In纳米线表面沉积Sb膜层,形成In、Sb的核‑壳结构;然后对In、Sb的核‑壳结构进行退火处理,使其在固相时发生结晶反应,形成InSb纳米线。在进行锰掺杂时,首先采用多步掠射角沉积技术制备单晶纯In纳米线;然后在纯In纳米线表面沉积Mn膜层,形成In、Mn的核‑壳结构;然后在Mn膜层表面沉积Sb膜层,并进行退火处理,形成Mn掺杂的InSb纳米线。本发明实现了在低温下制备InSb纳米线并进行Mn元素的掺杂,能够得到高Mn含量的InSb纳米线。

    基于多步掠射角沉积法的锑化铟纳米线制备与锰掺杂方法

    公开(公告)号:CN105862122A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610300708.8

    申请日:2016-05-09

    Applicant: 北京大学

    CPC classification number: C30B23/007 B82Y40/00 C30B29/40 C30B29/62

    Abstract: 本发明涉及一种基于多步掠射角沉积法的锑化铟纳米线制备与锰掺杂方法。首先采用多步掠射角沉积技术制备单晶纯In纳米线;然后在纯In纳米线表面沉积Sb膜层,形成In、Sb的核?壳结构;然后对In、Sb的核?壳结构进行退火处理,使其在固相时发生结晶反应,形成InSb纳米线。在进行锰掺杂时,首先采用多步掠射角沉积技术制备单晶纯In纳米线;然后在纯In纳米线表面沉积Mn膜层,形成In、Mn的核?壳结构;然后在Mn膜层表面沉积Sb膜层,并进行退火处理,形成Mn掺杂的InSb纳米线。本发明实现了在低温下制备InSb纳米线并进行Mn元素的掺杂,能够得到高Mn含量的InSb纳米线。

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