公开(公告)号：CN115272221A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210875580.3

申请日：2022-07-25

Applicant: 北京大学

Inventor： 刘玉县 ,  崔健 ,  赵前程

IPC: G06T7/00 ,  G06T7/136 ,  G06T7/80 ,  G06V10/75 ,  B81C99/00 ,  H03H3/04

Abstract: 本发明实施例提供了一种基于图像识别的硅基谐振器件调节方法及系统，通过相机标定方法降低图像畸变对图像处理精度的影响；采用自适应阈值分割法与灰度重心法计算出激光光斑中心位置；通过形状匹配算法快速识别出硅基谐振器件中的微结构；采用霍夫检测算法精确地测量出微结构的相关尺寸；图像处理系统作为运动控制与激光加工的反馈，频率检测电路作为硅基谐振器件性能调节的反馈，协同控制四轴运动平台的运动参数与超快脉冲激光的能量参数，进而实现对硅基谐振器件结构尺寸的自动化精准修调。本发明具有修调方法可控、高调节精度、高调节效率等优点，适用于高性能硅基谐振器件的批量制造。

公开(公告)号：CN114858181A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202110157949.2

申请日：2021-02-05

Applicant: 北京大学

Inventor： 刘玉县 ,  赵前程 ,  崔健 ,  张大成

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明属于传感器领域，公开了一种基于图像识别的线振动式MEMS陀螺激光修调方法，包括以下步骤：(1)依据线振动式MEMS陀螺中微结构的几何特征，对不同类型的微结构进行分类，建立一套适用于所述陀螺的微结构库；(2)采用视觉系统获取待修调陀螺的图像后，将所述图像与上述微结构库进行模板匹配，识别出所述图像中所有微结构的类别，并获取相关参数信息；(3)人为设置所述微结构几何尺寸的修调目标值后，自动地规划修调路线并生成修调工艺参数，从而完成对所述陀螺的自动化激光修调。本发明方法可以快速且准确地实现对线振动式MEMS陀螺的自动化激光修调，基于预先建立的微结构库与图像识别技术，可以快速识别出所述陀螺的微结构类型，并依据需求自动生成修调路径与修调参数，从而实现MEMS陀螺激光修调的自动化。

公开(公告)号：CN114858180A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202110157948.8

申请日：2021-02-05

Applicant: 北京大学

Inventor： 刘玉县 ,  赵前程 ,  崔健 ,  张大成

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明属于传感器领域，公开了一种基于视觉检测的双质量微陀螺不对称误差辨识方法，包括如下步骤：(1)获得包含完整双质量微陀螺的图像；(2)在所述图像中框选出双质量微陀螺，并采用两种不同的图像分割方法对所述图像分别进行分割；(3)比对所述分割后的图像，辨识出整体微陀螺的不对称误差；(4)对于所述图像中因分辨率低而无法辨识的陀螺微结构区域，建立位置映射关系，逐一获取放大后的微结构图像并进行图像比对，进一步辨识出微结构的不对称误差。本发明方法可直接、快速、准确地辨识出双质量微陀螺的不对称误差，辨识结果可应用于对陀螺微结构的激光修调等。