公开(公告)号：CN101825694B

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201010139606.5

申请日：2010-04-01

Applicant: 北京大学

Inventor： 方然 ,  鲁文高 ,  陈中建 ,  张雅聪 ,  鞠原 ,  刘仁直 ,  郭娟 ,  肖永强 ,  吉利久

IPC: H03M1/10

Abstract: 本发明涉及一种MEMS传感器电容读出电路中失调电容自动校准电路及方法，属于微电子集成电路设计及微电子MEMS技术领域。针对现有技术中的问题，本发明提供一种失调电容自动校准电路及方法，该电路包括复位电路，用于进行电荷放大器复位重置；比较电路，用于读取并比较电荷放大器输出信号；逐次逼近电路，用于接受比较结果并生成电容补偿控制码；补偿电容阵列电路，用于根据电容补偿控制码指令对传感器电容形成补偿电容。该技术方案只需要一个校准开始信号，电路在经过N+1个载波周期后即可自动调节补偿电容大小来实现电容补偿，便捷易用，比手动调整更加准确；电路实现复杂度低，而且电路功耗也大大降低，具有很高的实际应用价值。

公开(公告)号：CN101825694A

公开(公告)日：2010-09-08

申请号：CN201010139606.5

申请日：2010-04-01

Applicant: 北京大学

Inventor： 方然 ,  鲁文高 ,  陈中建 ,  张雅聪 ,  鞠原 ,  刘仁直 ,  郭娟 ,  肖永强 ,  吉利久

IPC: G01R35/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS传感器电容读出电路中失调电容自动校准电路及方法，属于微电子集成电路设计及微电子MEMS技术领域。针对现有技术中的问题，本发明提供一种失调电容自动校准电路及方法，该电路包括复位电路，用于进行电荷放大器复位重置；比较电路，用于读取并比较电荷放大器输出信号；逐次逼近电路，用于接受比较结果并生成电容补偿控制码；补偿电容阵列电路，用于根据电容补偿控制码指令对传感器电容形成补偿电容。该技术方案只需要一个校准开始信号，电路在经过N+1个载波周期后即可自动调节补偿电容大小来实现电容补偿，便捷易用，比手动调整更加准确；电路实现复杂度低，而且电路功耗也大大降低，具有很高的实际应用价值。