公开(公告)号：CN102241390A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN201110106827.7

申请日：2011-04-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 李灿 ,  吴文刚 ,  丁珂 ,  徐军 ,  郝一龙 ,  王阳元

IPC: B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制，对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低，更有利于进入多结构并行加工，光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN102241390B

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201110106827.7

申请日：2011-04-27

Applicant: 北京大学

Inventor： 李灿 ,  吴文刚 ,  丁珂 ,  徐军 ,  郝一龙 ,  王阳元

IPC: B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制，对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低，更有利于进入多结构并行加工，光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。