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公开(公告)号:CN102241390A
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN201110106827.7
申请日:2011-04-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制,对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低,更有利于进入多结构并行加工,光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN102241390B
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:CN201110106827.7
申请日:2011-04-27
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制,对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低,更有利于进入多结构并行加工,光学器件、传感器件、电子器件等方面具有重要的应用价值。
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