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公开(公告)号：CN107527851B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN201610446806.2
申请日：2016-06-20
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种陶瓷静电卡盘装置及其制备工艺，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括介电层、电极层、绝缘层，在所述介电层靠近所述电极层的表面设置有第一金属化层，在所述第一金属化层靠近所述电极层的表面设置有第一镀镍层，在所述绝缘层靠近所述电极层的表面设置有第二金属化层，在所述第二金属化层靠近所述电极层的表面设置有第二镀镍层。本发明的静电卡盘装置气密性高，静电吸附力均匀，并且制造方法简单易行、方便加工。
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公开(公告)号：CN108649012B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201810447100.7
申请日：2018-05-11
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种新型陶瓷塞及具有该新型陶瓷塞的静电卡盘装置，属于半导体晶片加工装置领域。所述新型陶瓷塞包括从上至下依次连接的陶瓷塞上部、多孔陶瓷柱和陶瓷套管，陶瓷塞上部包括圆柱部和设置在圆柱部的上部的环形凸台部，环形凸台部的中部设置有第一冷却气体孔，圆柱部的中部设置有第二冷却气体孔，陶瓷套管的中部设置有第三冷却气体孔。本发明能够避免静电卡盘冷却气体均布板的冷却气体孔处产生电弧现象。
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公开(公告)号：CN108711558B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201810447179.3
申请日：2018-05-11
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种静电卡盘表面形貌的制备方法，属于静电卡盘领域。所述静电卡盘表面形貌的制备方法包括：步骤1：在静电卡盘的介电层表面涂覆或者贴合保护膜，所述保护膜包括曝光区域和不曝光区域；步骤2：对所述不曝光区域贴合光刻掩膜板，对所述曝光区域进行曝光、显影和清洗；步骤3：对清洗后的曝光区域进行凸点沉积；步骤4：对凸点沉积后的介电层的不曝光区域进行清洗。本发明不仅可以根据不同需求，制备出与介电层材料不同的一层或者多层凸点涂层，满足静电卡盘多方面性能需求，而且该方法工艺简单，易操作，效率高，制备过程更加环保。
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公开(公告)号：CN111863693A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010640542.0
申请日：2020-07-06
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开一种静电卡盘，其包括陶瓷基体，所述陶瓷基体埋设有静电电极和加热电极，所述静电电极和加热电极在陶瓷基体中具有高度差，所述陶瓷基体和静电电极、加热电极一次烧结成型。本发明还公开了上述静电卡盘的制备方法。与现有技术相比，本发明的静电卡盘的加热电极和静电电极是埋伏在陶瓷基体内且一次烧结成型的，避免了多次烧结带来的材料尺寸差异和内部组织恶化，实现分区加热和控温，达到升温效率高，温度均匀性高的指标。
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公开(公告)号：CN111195876A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811381040.X
申请日：2018-11-20
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
摘要： 本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括保护结构。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
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公开(公告)号：CN111195815A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811381044.8
申请日：2018-11-20
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： B23P19/06
摘要： 本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、可靠性高且使得被紧固件受力均匀的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮、若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力，还包括过渡齿轮。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
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公开(公告)号：CN107663080B
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201610603222.1
申请日：2016-07-27
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , C04B35/10 , C04B35/622 , B28B1/29
摘要： 本发明公开了一种应用于J‑R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法，属于半导体材料领域。所述氧化铝陶瓷材料由以下重量份的组分组成：α‑氧化铝82‑88％、二氧化钛7‑10％、氧化镁0.5‑2％、二氧化硅2‑5.5％。上述氧化铝陶瓷的制备方法采用流延成型工艺，得到的氧化铝陶瓷材料体积电阻率在100‑1000V电压范围内能控制在109‑1011Ω·cm之间，可以作为理想的J‑R型静电卡盘的介电材料。
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公开(公告)号：CN107663080A
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610603222.1
申请日：2016-07-27
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： C04B35/10 , C04B35/622 , B28B1/29 , H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法，属于半导体材料领域。所述氧化铝陶瓷材料由以下重量份的组分组成：α-氧化铝82-88％、二氧化钛7-10％、氧化镁0.5-2％、二氧化硅2-5.5％。上述氧化铝陶瓷的制备方法采用流延成型工艺，得到的氧化铝陶瓷材料体积电阻率在100-1000V电压范围内能控制在109-1011Ω·cm之间，可以作为理想的J-R型静电卡盘的介电材料。
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公开(公告)号：CN110931413B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN201811117451.8
申请日：2018-09-20
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明静电卡盘分离装置涉及一种用于分离静电卡盘的机械装置。其目的是为了提供一种能够无损、快速分离静电卡盘与卡盘底座的静电卡盘分离装置。本发明静电卡盘分离装置包括导向部件、安装在导向部件上方且能够随导向部件同步移动的旋转部件以及固定安装的切割部件，静电卡盘组件安装于旋转部件的上方且能够随旋转部件同步转动，切割部件在通电的情况下能够发热且产生能够使粘接层融化的热量，当导向部件带动旋转部件同步移动到一定位置时，随着静电卡盘移动与转动的同时进行，切割部件能够对粘接层进行切割以实现静电卡盘与静电卡盘组件上元件的分离。本发明静电卡盘分离装置的结构简单，易于制造，分离效率高，应用范围广，能够实现无损分离。
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公开(公告)号：CN111271415B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201811381052.2
申请日：2018-11-20
申请人： 北京华卓精科科技股份有限公司
摘要： 本发明同步紧固装置涉及一种用于能够同时对多个螺钉进行紧固的自动化装置。其目的是为了提供一种结构简单、调试方便的、传动精度高的同步紧固装置。本发明同步紧固装置包括动力源、基座、固定安装在基座一侧的固定轴、套装在固定轴上且能够相对固定轴转动的主动齿轮、若干个均能够与主动齿轮外啮合的从动齿轮以及若干个能够与从动齿轮同步转动的传动轴以及与传动轴的一端部相连接且能够随传动轴同步运动的紧固件，紧固件用于对被紧固件的紧固，紧固件的形状与紧固件的形状相适配，动力源用于向主动齿轮提供动力。本装置使用单一动力源实现同步拧紧螺钉，其装配调试简单,成本低廉，环境要求低，应用范围广。
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