公开(公告)号：CN113589649A

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110930729.9

申请日：2021-08-13

Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 ,  上海彤程电子材料有限公司 ,  彤程新材料集团股份有限公司

Inventor： 胡凡华 ,  张腾 ,  何卿 ,  刘洪雷 ,  方兵 ,  朴大然 ,  卢克军 ,  张宁

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。

公开(公告)号：CN113589649B

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202110930729.9

申请日：2021-08-13

Applicant: 北京北旭电子材料有限公司 ,  上海彤程电子材料有限公司 ,  彤程新材料集团股份有限公司

Inventor： 胡凡华 ,  张腾 ,  何卿 ,  刘洪雷 ,  方兵 ,  朴大然 ,  卢克军 ,  张宁

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00

Abstract: 本申请提供一种树脂组合物、光刻胶组合物及图案化方法，属于光刻技术领域。树脂组合物按质量百分比计包括20～50％的第一树脂和50～80％的第二树脂；第一树脂的结构如式Ⅰ所示；第二树脂的结构如式II‑1或者式II‑2所示。树脂组合物中，含有至少两种二甲酚结构单元质量百分比不同的第二树脂，且二甲酚结构质量百分比≥30％的第二树脂的质量百分占比＜60％。光刻胶组合物按质量百分比计包括：70～85％的溶剂、1～10％的感光剂以及10～20％的树脂组合物；感光剂包括G线感光剂和I线感光剂。该树脂组合物应用于光刻胶中，能够使得光刻胶兼具较高的分辨率和较快的感度。