公开(公告)号：CN119164523A

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN202410581480.9

申请日：2024-05-11

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 尤睿 ,  张璐瑶 ,  梁密生

IPC: G01L1/22 ,  G01L5/00 ,  B23K26/00 ,  A61B5/11 ,  A61B5/00

Abstract: 本发明公开的一种基于激光直写的复合结构柔性传感器制作及测试方法，属于柔性传感器领域。本发明通过各种传感器材料选取及相应微结构设计实现导电微结构的接触关系变化；采用激光直写加工微流道注入液体金属的制作工艺，能仅使用飞秒激光就能实现对三维电路的直接构建，能够实现任意复杂液态金属图案化。本发明通过调节激光参数，在PDMS表面加工时在通道底部留下粗糙的纹理，增大液态金属的接触面积；采用粗糙微观结构提供更大的粗糙微观结构与液态金属接触的表面积，提高微观结构‑液态金属复合结构柔性传感器对压力变化的灵敏度；利用粗糙微观结构即使在弯曲或不平坦的表面上也能与目标保持接触，提高柔性传感器对压力测量的准确性和一致性。

公开(公告)号：CN118609995A

公开(公告)日：2024-09-06

申请号：CN202410581327.6

申请日：2024-05-11

Applicant: 北京信息科技大学

Inventor： 尤睿 ,  张璐瑶 ,  梁密生

IPC: H01G4/005 ,  H01G4/33 ,  H01G13/00 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明公开的激光烧蚀制备EGaIn/石墨烯复合柔性电容器的方法，属于柔性传感器领域。本发明实现方法为：用刷子将EGaIn涂在SEBS基板上，所得到的EGaIn薄膜用作电流集电极；通过预先设计的模板丝网印刷石墨烯浆料，将石墨烯选择性地沉积在EGaIn薄膜的所需区域上，得到石墨烯/EGaIn双层；激光沿着预先设计的路径照射以制造图案；利用激光控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，将聚二甲基硅氧烷PDMS液体涂覆在交叉电极区域，渗透到石墨烯层中，实现PDMS对EGaIn层的粘附，得到EGaIn/石墨烯复合柔性电容器。通过EGaIn/石墨烯复合结构，利用激光合理控制相邻交叉电极的间隙和石墨烯的质量负载，能够获得具有高面电容、高灵敏度、快速响应时间的柔性电容器。