公开(公告)号：CN100533749C

公开(公告)日：2009-08-26

申请号：CN200680004532.6

申请日：2006-02-07

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 绪方启介 ,  福吉健藏 ,  石松忠 ,  中尾充宏 ,  北村智史

IPC分类号： H01L27/14 ,  G02B5/20 ,  H04N9/07

摘要： 一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。

公开(公告)号：CN1973373A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200580020604.1

申请日：2005-06-16

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 福吉健藏 ,  石松忠 ,  绪方启介 ,  中尾充宏 ,  内堀明子

IPC分类号： H01L27/146

摘要： 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。

公开(公告)号：CN100517739C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200580020604.1

申请日：2005-06-16

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 福吉健藏 ,  石松忠 ,  绪方启介 ,  中尾充宏 ,  内堀明子

IPC分类号： H01L27/146

摘要： 一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。

公开(公告)号：CN101116186A

公开(公告)日：2008-01-30

申请号：CN200680004532.6

申请日：2006-02-07

申请人： 凸版印刷株式会社

发明人： 绪方启介 ,  福吉健藏 ,  石松忠 ,  中尾充宏 ,  北村智史

IPC分类号： H01L27/14 ,  G02B5/20 ,  H04N9/07

摘要： 一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。