发明公开
- 专利标题： 固体摄像元件及其制造方法
- 专利标题（英）： Solid state image pickup device and manufacturing method thereof
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申请号： CN200680004532.6申请日： 2006-02-07
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公开(公告)号： CN101116186A公开(公告)日： 2008-01-30
- 发明人: 绪方启介 , 福吉健藏 , 石松忠 , 中尾充宏 , 北村智史
- 申请人： 凸版印刷株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 凸版印刷株式会社
- 当前专利权人： 凸版印刷株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈英俊
- 优先权： 034620/2005 2005.02.10 JP; 034621/2005 2005.02.10 JP
- 国际申请： PCT/JP2006/302061 2006.02.07
- 国际公布： WO2006/085528 JA 2006.08.17
- 进入国家日期： 2007-08-10
- 主分类号： H01L27/14
- IPC分类号： H01L27/14 ; G02B5/20 ; H04N9/07
摘要：
一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。
公开/授权文献
- CN100533749C 固体摄像元件及其制造方法 公开/授权日：2009-08-26
IPC分类:
