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公开(公告)号：CN113004803A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011417878.7
申请日：2020-12-07
Applicant: 凯斯科技股份有限公司
IPC: C09G1/02 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及可实现多选择比的抛光料浆组合物，更详细地，涉及抛光料浆组合物，包括：包括抛光粒子的抛光液；以及添加液，所述添加液包括带有酰胺键的聚合物及阳离子性聚合物。
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