公开(公告)号：CN102369309B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201080011478.4

申请日：2010-03-10

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 岩井良太 ,  德久智明 ,  加藤胜 ,  横岛时彦 ,  青柳昌宏 ,  山地泰弘 ,  菊地克弥 ,  仲川博

IPC: C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/18 ,  H05K3/24

CPC classification number: H05K3/187 ,  C23C18/1605 ,  C23C18/1607 ,  C23C18/165 ,  C23C18/1834 ,  C23C18/1844 ,  C23C18/1851 ,  C23C18/44

Abstract: 本发明要解决的技术问题是提供一种化学镀金液，其能够在短时间内包埋在覆盖于基板上的抗蚀剂上所形成的单个或多个开口部，该开口部具有微米量级的基底材料露出部的宽度，尤其是具有100μm以下的基底材料露出部的宽度，且高度为3μm以上。化学镀金液中含有微细部析出促进剂，形成100μm以下的微细图案从而解决上述技术问题。

公开(公告)号：CN102369309A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：CN201080011478.4

申请日：2010-03-10

Applicant: 关东化学株式会社

Inventor： 岩井良太 ,  德久智明 ,  加藤胜 ,  横岛时彦 ,  青柳昌宏 ,  山地泰弘 ,  菊地克弥 ,  仲川博

IPC: C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/18 ,  H05K3/24

CPC classification number: H05K3/187 ,  C23C18/1605 ,  C23C18/1607 ,  C23C18/165 ,  C23C18/1834 ,  C23C18/1844 ,  C23C18/1851 ,  C23C18/44

Abstract: 本发明要解决的技术问题是提供一种化学镀金液，其能够在短时间内包埋在覆盖于基板上的抗蚀剂上所形成的单个或多个开口部，该开口部具有微米量级的基底材料露出部的宽度，尤其是具有100μm以下的基底材料露出部的宽度，且高度为3μm以上。化学镀金液中含有微细部析出促进剂，形成100μm以下的微细图案从而解决上述技术问题。