公开(公告)号：CN111816538B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN202010690473.4

申请日：2020-07-17

Applicant: 兰州大学

Inventor： 刘德全 ,  李一丁 ,  刘建德 ,  刘艳杰 ,  孙楷 ,  焦朝晖 ,  谢志超 ,  常英凡 ,  贺德衍

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01J9/00

Abstract: 一种基于重离子辐照的透射电镜微栅，该透射电镜微栅由高能重离子辐照后用氢氧化钠的溶液进行蚀刻后得到微孔的聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜和通过磁控溅射或热蒸发或电子束蒸发等方式镀在其上的金属薄膜构成，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜的厚度为5‑30μm，所述金属膜的厚度为5‑30 nm。本发明是基于用经过重离子辐照的聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜后，再经过蚀刻形成具有孔径均一且可调的微孔，磁控溅射、热蒸发或电子束蒸发镀膜得到较高孔隙率和电导率的透射电镜微栅，相较于现有技术，制备的透射电镜微栅以重离子径迹膜为模板，在模板上覆盖一层厚度、种类可调的金属膜。该透射电镜用微栅由许多孔径均一、尺寸可调的微孔结构组成，该微孔结构较为纯净，可以有效消除传统微栅中金属网格对被测样品成分分析时的干扰，从而有利于提升测试时的精确度。

公开(公告)号：CN111816538A

公开(公告)日：2020-10-23

申请号：CN202010690473.4

申请日：2020-07-17

Applicant: 兰州大学

Inventor： 刘德全 ,  李一丁 ,  刘建德 ,  刘艳杰 ,  孙楷 ,  焦朝晖 ,  谢志超 ,  常英凡 ,  贺德衍

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01J9/00

Abstract: 一种基于重离子辐照的透射电镜微栅，该透射电镜微栅由高能重离子辐照后用氢氧化钠的溶液进行蚀刻后得到微孔的聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜和通过磁控溅射或热蒸发或电子束蒸发等方式镀在其上的金属薄膜构成，所述聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜的厚度为5-30μm，所述金属膜的厚度为5-30 nm。本发明是基于用经过重离子辐照的聚对苯二甲酸乙二醇酯PET薄膜后，再经过蚀刻形成具有孔径均一且可调的微孔，磁控溅射、热蒸发或电子束蒸发镀膜得到较高孔隙率和电导率的透射电镜微栅，相较于现有技术，制备的透射电镜微栅以重离子径迹膜为模板，在模板上覆盖一层厚度、种类可调的金属膜。该透射电镜用微栅由许多孔径均一、尺寸可调的微孔结构组成，该微孔结构较为纯净，可以有效消除传统微栅中金属网格对被测样品成分分析时的干扰，从而有利于提升测试时的精确度。