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公开(公告)号:CN114774881A
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN202210433762.5
申请日:2022-04-22
Applicant: 兰州大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , G02B5/08
Abstract: 本发明提供一种HfO2/Al2O3多层膜反射镜及其制备方法,涉及X射线反射镜领域领域。该方法包括:对基底进行预处理;利用原子层沉积法在基底上沉积HfO2膜,并利用原子层沉积法在HfO2膜上沉积Al2O3膜,HfO2膜和Al2O3膜形成双层膜;在制得的双层膜上重复周期性制备若干组双层膜,得到HfO2/Al2O3多层膜反射镜。本发明首次提出将HfO2作为吸收层材料,Al2O3作为间隔层材料,通过原子层沉积法制备得到的多层膜粗糙度小,达到1nm以下;均匀性高,通过测试不同位置的厚度,均匀性在3%以下;制备的多层膜反射镜性能可靠、适用大规模推广,其反射率在0.001以上。
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公开(公告)号:CN116417265A
公开(公告)日:2023-07-11
申请号:CN202310352315.1
申请日:2023-04-04
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明提供了一种基于CFs/ZnO纳米阵列的PEC型柔性紫外探测器的制备方法;包括:步骤(1),对基底进行预处理;步骤(2),利用浸泡法在基底上制备CFs/ZnO种子层;步骤(3),在CFs/ZnO种子层上利用水热法制备CFs/ZnO光阳极;步骤(4),将CFs/ZnO光阳极与对电极封装,注入电解液,得到基于CFs/ZnO纳米阵列的PEC型柔性紫外探测器。本发明首次提出了一种基于CFs/ZnO纳米阵列的PEC型紫外探测器的制备方法,将碳纤维作为基底,利用浸泡法在碳纤维表面制备CFs/ZnO种子层;并利用水热法在种子层上制备CFs/ZnO光阳极;将制备的CFs/ZnO的光阳极、对电极与参比电极封装,注入电解液,得到基于CFs/ZnO纳米阵列的PEC型紫外探测器,该紫外探测器柔性高,可以实现自供能,制作方法简单,制备成本低廉。
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