公开(公告)号：CN114774881A

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202210433762.5

申请日：2022-04-22

Applicant: 兰州大学

Inventor： 潘孝军 ,  吴宏昌 ,  孔祥东 ,  李艳丽 ,  张新月 ,  王纲 ,  靳梦静 ,  白兆文

IPC: C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  G02B5/08

Abstract: 本发明提供一种HfO2/Al2O3多层膜反射镜及其制备方法，涉及X射线反射镜领域领域。该方法包括：对基底进行预处理；利用原子层沉积法在基底上沉积HfO2膜，并利用原子层沉积法在HfO2膜上沉积Al2O3膜，HfO2膜和Al2O3膜形成双层膜；在制得的双层膜上重复周期性制备若干组双层膜，得到HfO2/Al2O3多层膜反射镜。本发明首次提出将HfO2作为吸收层材料，Al2O3作为间隔层材料，通过原子层沉积法制备得到的多层膜粗糙度小，达到1nm以下；均匀性高，通过测试不同位置的厚度，均匀性在3％以下；制备的多层膜反射镜性能可靠、适用大规模推广，其反射率在0.001以上。