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公开(公告)号：CN115404453A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210954223.6
申请日：2022-08-10
Applicant: 兰州交通大学
Abstract: 本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统及方法。本发明的技术方案如下：一种提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统，包括空心电磁线圈、可变电流直流电源和线圈位置调节机构，线圈位置调节机构设置在磁控溅射镀膜机的基片台上，所述基片台上设有工件盘，空心电磁线圈安装在线圈位置调节机构上，空心电磁线圈放置在磁控溅射镀膜机的磁控靶与所述工件盘之间，空心电磁线圈与所述磁控靶同轴设置，可变电流直流电源与空心电磁线圈相连。本发明提供的提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统及方法，能够实现对等离子体束流的汇聚调控作用，提高溅射粒子收得率和靶材利用率。
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公开(公告)号：CN217995866U
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202222080190.5
申请日：2022-08-09
Applicant: 兰州交通大学
IPC: B65G47/252
Abstract: 本实用新型涉及一种机械装置，具体涉及一种基于水车原理实现条片状工件自动翻面的装置。技术方案如下：一种基于水车原理实现条片状工件自动翻面的装置，包括前送料机构、前引导板、水车状转轮翻面机构、后引导板和后送料机构，前引导板的上端设置在前送料机构的末端，前引导板的下端设置在水车状转轮翻面机构的左侧上方，后引导板的上端设置在水车状转轮翻面机构的右侧下方，后引导板的下端设置在后送料机构的首端上方；前引导板及后引导板皆斜向设置，前引导板及后引导板与水平面之间的夹角为30‑60°。本实用新型结构简单，工作可靠，适合于工业化连续生产线上对需要双面加工的条片状工件的高效率自动翻面，并运送至下一工位。
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公开(公告)号：CN217948246U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202222103836.7
申请日：2022-08-10
Applicant: 兰州交通大学
Abstract: 本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，具体涉及一种提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统。本实用新型的技术方案如下：一种提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统，包括空心电磁线圈、可变电流直流电源和线圈位置调节机构，线圈位置调节机构设置在磁控溅射镀膜机的基片台上，所述基片台上设有工件盘，空心电磁线圈安装在线圈位置调节机构上，空心电磁线圈放置在磁控溅射镀膜机的磁控靶与所述工件盘之间，空心电磁线圈与所述磁控靶同轴设置，可变电流直流电源与空心电磁线圈相连。本实用新型提供的提高磁控溅射镀膜机溅射粒子收得率的磁约束系统，能够实现对等离子体束流的汇聚调控作用，提高溅射粒子收得率和靶材利用率。
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