公开(公告)号：CN108063104A

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201711051748.4

申请日：2017-10-30

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 胡瑞璋 ,  唐良红 ,  丘允贤 ,  张伟源 ,  林巨凎

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: B32B38/18 ,  B32B37/06 ,  B32B41/00 ,  B32B2457/00 ,  H01L24/00

Abstract: 本发明接合装置包括可移动接合头夹头、配置为与接合头夹头一起移动的参考标记、翻转头夹头、第一和第二成像装置和调整机构。在使用中，第一成像装置捕获参考标记和翻转头夹头的一个或多个图像，以及第二成像装置捕获参考标记和接合头夹头的一个或多个图像。基于从翻转头夹头、接合头夹头和参考标记的图像确定的偏移，调整机构将接合头夹头的位置与翻转头夹头的位置对准。翻转头夹头拾取电气部件，并将电气部件传送给在对准位置的接合头夹头。

公开(公告)号：CN108063104B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN201711051748.4

申请日：2017-10-30

Applicant: 先进科技新加坡有限公司

Inventor： 胡瑞璋 ,  唐良红 ,  丘允贤 ,  张伟源 ,  林巨凎

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/683