公开(公告)号：CN107922653A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680045027.X

申请日：2016-08-02

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 宫尾秀一 ,  弥津茂义 ,  渡边和则

IPC: C08J7/00 ,  B65D30/02 ,  B65D65/38 ,  C01B33/02

CPC classification number: C30B35/002 ,  B65D65/38 ,  C01B33/02 ,  C01B33/035 ,  C08F14/26 ,  C08J7/00 ,  C30B13/00 ,  C30B15/00 ,  C30B29/06

Abstract: 在本发明中，制造多晶硅时，一直使用下述的杂质表面浓度的树脂材料。以1重量％的硝酸水溶液作为提取液利用ICP质谱分析法进行定量分析而得到的值是：磷(P)浓度为50pptw以下，砷(As)浓度为2pptw以下，硼(B)浓度为20pptw以下，铝(Al)浓度为10pptw以下，铁(Fe)、铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、钠(Na)、锌(Zn)这6种元素的合计为80pptw以下，锂(Li)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、锰(Mn)、钴(Co)、钼(Mo)、锡(Sn)、钨(W)、铅(Pb)这10种元素的合计为100pptw以下。