公开(公告)号：CN113880094A

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN202110711525.6

申请日：2021-06-25

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 岡田哲郎 ,  星野成大 ,  石田昌彦

IPC: C01B33/035

Abstract: 发明涉及的多晶硅棒的制造装置，通过西门子法制造多晶棒，其特征在于，包括：保持体100，该保持体100被可沿水平方向移动地设置在底板20上，将芯线保持器1与电极4电连接，并且相对于底板20可旋转地保持芯线保持器1。

公开(公告)号：CN113371716B

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202110236189.4

申请日：2021-03-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 岡田哲郎 ,  星野成大 ,  石田昌彦

IPC: C01B33/035

Abstract: 本发明的底板的污染防止方法，包括：在具有底板以及覆盖所述底板的盖的反应器内制造多晶硅的工序；从所述底板除去所述盖的工序；以及通过隔离装置隔离包含所述底板的空间的工序。

公开(公告)号：CN115583653A

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN202210757989.5

申请日：2022-06-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 星野成大 ,  岡田哲郎 ,  石田昌彦

IPC: C01B33/035

Abstract: 本发明涉及的多晶硅棒的制造装置，包括：用于使多晶硅析出的硅芯线1；贯穿底板80设置的硅芯线用电极60；设置在硅芯线1与硅芯线用电极60之间且由能够相对于底板80移动的适配器等构成的调整构件10；以及可冷却调整构件10的冷却部。

公开(公告)号：CN113371716A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202110236189.4

申请日：2021-03-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 岡田哲郎 ,  星野成大 ,  石田昌彦

IPC: C01B33/035

Abstract: 本发明的底板的污染防止方法，包括：在具有底板以及覆盖所述底板的盖的反应器内制造多晶硅的工序；从所述底板除去所述盖的工序；以及通过隔离装置隔离包含所述底板的空间的工序。