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公开(公告)号：CN116819888A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310309036.7
申请日：2023-03-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明课题为提供即使在高曝光量区域仍因高分辨度而使粗糙度或孔洞图案的尺寸均匀性减少，曝光后的图案形状良好且蚀刻耐性优良的抗蚀剂组成物。该课题解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：树脂(A)，具有通式(p‑1)表示的重复单元、通式(a‑1)表示的因酸的作用而极性会变化并成为可溶于碱水溶液的重复单元、及通式(b‑1)表示的重复单元，树脂(B)，具有通式(p‑2)表示的重复单元、通式(a‑1)表示的因酸的作用而极性会变化并成为可溶于碱水溶液的重复单元、及通式(b‑1)表示的重复单元，及溶剂(D)；其中，该抗蚀剂组成物所含的该树脂(A)的含量比该树脂(B)的含量少。#imgabs0#
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公开(公告)号：CN107918248B
公开(公告)日：2021-09-10
申请号：CN201710912844.7
申请日：2017-09-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法。本发明提供包含基体聚合物和羧酸或磺酰胺的金属盐的抗蚀剂组合物，金属选自钙、锶、钡、铈、铝、铟、镓、铊、钪和钇。抗蚀剂组合物显示出增敏效果和酸扩散抑制效果，且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案。
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公开(公告)号：CN107870518A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710885362.7
申请日：2017-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/38 , G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/038
Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包括基础聚合物和含碘化芳族基团的羧酸的金属盐的抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案，所述金属选自钠、镁、钾、钙、铷、锶、铯、钡、钴、镍、铜、锌、镉、锡、锑、锆、铪、铈、铝和铟。
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公开(公告)号：CN107870518B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201710885362.7
申请日：2017-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包括基础聚合物和含碘化芳族基团的羧酸的金属盐的抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案，所述金属选自钠、镁、钾、钙、铷、锶、铯、钡、钴、镍、铜、锌、镉、锡、锑、锆、铪、铈、铝和铟。
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公开(公告)号：CN107918248A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201710912844.7
申请日：2017-09-30
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C08F12/24 , C08F212/14 , C08F220/28 , C08F220/30 , C08F2220/283 , C08F2220/301 , C08F2800/20 , C09D125/18 , G03F7/0046 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/2006 , G03F7/322 , G03F7/38 , C08F212/32 , G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/038
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法。本发明提供包含基体聚合物和羧酸或磺酰胺的金属盐的抗蚀剂组合物，金属选自钙、锶、钡、铈、铝、铟、镓、铊、钪和钇。抗蚀剂组合物显示出增敏效果和酸扩散抑制效果，且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案。
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