公开(公告)号：CN1030158A

公开(公告)日：1989-01-04

申请号：CN88103912

申请日：1988-05-17

Applicant: 信友电气工业株式会社

Inventor： 藤田顺彦 ,  系崎秀夫 ,  田中三郎 ,  藤森直治 ,  今井贵浩 ,  原田敬三 ,  葮田典之 ,  高野悟 ,  宫崎健史 ,  林∴器 ,  矢津修示 ,  上代哲治

IPC: H01B12/00 ,  H01L39/12 ,  H01L39/24

CPC classification number: H01L39/249 ,  H01L39/2435 ,  H01L39/2464

Abstract: 本发明涉及超导体的制造方法，即通过在复合氧化物材料上照射氧离子束、惰性气体离子束及氧气与惰性气体的混合气体离子束之中的一种离子束，而使上述复合氧化物材料转变为超导体。将上述离子束聚焦、照射在上述复合氧化物材料上，可使复合氧化物材料被照射过的部位形成由超导体组成的超导配线电路。上述复合氧化物材料可以是块状的、或是在基片上形成的薄膜状；离子源可以是RF型、微波及PIC型离子源；原料气可用O2和CO2等。