公开(公告)号：CN106019822B

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：CN201610195895.8

申请日：2016-03-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： P·D·休梅克 ,  Y·斯里尼瓦桑 ,  田村正浩 ,  山崎拓郎

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明涉及压印设备及方法、物品制造法和获得布置图案信息的方法，压印设备包括：供给装置，构造成将压印材料供给到基片上；以及处理器，构造成获得基片上压印材料的布置图案信息，其中，处理器构造成基于与模具的第一部分对应的布置图案信息和与模具的第二部分对应的布置图案信息来获得与第一部分与第二部分之间分界部对应的布置图案信息。

公开(公告)号：CN106019822A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610195895.8

申请日：2016-03-31

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： P·D·休梅克 ,  Y·斯里尼瓦桑 ,  田村正浩 ,  山崎拓郎

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  G03F7/0017

Abstract: 本发明涉及压印设备及方法、物品制造法和获得布置图案信息的方法，压印设备包括：供给装置，构造成将压印材料供给到基片上；以及处理器，构造成获得基片上压印材料的布置图案信息，其中，处理器构造成基于与模具的第一部分对应的布置图案信息和与模具的第二部分对应的布置图案信息来获得与第一部分与第二部分之间分界部对应的布置图案信息。