公开(公告)号：CN101911304A

公开(公告)日：2010-12-08

申请号：CN200880123969.0

申请日：2008-12-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 板垣奈穗 ,  A·戈雅尔 ,  岩崎达哉

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/7869

Abstract: 一种非晶氧化物至少包含：选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素；和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子％且小于等于5原子％。

公开(公告)号：CN101911304B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200880123969.0

申请日：2008-12-25

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 板垣奈穗 ,  A·戈雅尔 ,  岩崎达哉

IPC: H01L29/786

CPC classification number: H01L29/7869

Abstract: 一种非晶氧化物至少包含：选自由In、Zn和Sn构成的组的至少一种元素；和Mo。该非晶氧化物中的Mo对比所有金属原子的数量的原子组成比大于等于0.1原子％且小于等于5原子％。