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公开(公告)号：CN104730859B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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公开(公告)号：CN104730860B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201410804774.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B29C59/002 , B29L2031/001 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置、异物去除方法及物品制造方法。该压印装置进行利用模具使基板上的压印材料成型并且在所述基板上形成图案的压印处理，该压印装置包括：基板卡盘，其被构造为保持所述基板；保护板，其被构造为围绕所述基板卡盘；以及抽吸机构，其被构造为对所述基板卡盘与所述保护板之间的间隙的至少一部分进行抽吸，其中，在所述抽吸机构对所述间隙的至少一部分进行抽吸时，所述基板卡盘保持与要形成所述图案的所述基板不同的板。
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公开(公告)号：CN104730860A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410804774.X
申请日：2014-12-19
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C59/026 , B29C59/002 , B29L2031/001 , G03F7/0002
Abstract: 本发明提供压印装置、异物去除方法及物品制造方法。该压印装置进行利用模具使基板上的压印材料成型并且在所述基板上形成图案的压印处理，该压印装置包括：基板卡盘，其被构造为保持所述基板；保护板，其被构造为围绕所述基板卡盘；以及抽吸机构，其被构造为对所述基板卡盘与所述保护板之间的间隙的至少一部分进行抽吸，其中，在所述抽吸机构对所述间隙的至少一部分进行抽吸时，所述基板卡盘保持与要形成所述图案的所述基板不同的板。
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公开(公告)号：CN104730859A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410784784.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B29C33/72 , G03F7/0002
Abstract: 一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
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