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公开(公告)号:CN104427447B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201410418443.2
申请日:2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B5/0095 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H02N1/08
Abstract: 本发明涉及电容变换器及其制造方法。提供一种具有振动膜被支撑以能够振动的结构的电容变换器的制造方法。所述方法包括:在第一电极上形成牺牲层;在牺牲层上形成形成振动膜的至少一部分的层;去除牺牲层,包含形成与牺牲层连通的蚀刻孔;形成用于密封蚀刻孔的密封层;以及,蚀刻密封层的至少一部分。在形成密封层之前,在形成振动膜的至少一部分的层上形成蚀刻停止层。在蚀刻密封层的至少一部分的步骤中,去除密封层,直到到达蚀刻停止层。
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公开(公告)号:CN109312529A
公开(公告)日:2019-02-05
申请号:CN201780034092.7
申请日:2017-05-29
Applicant: 佳能株式会社
Abstract: 该多孔体带的特征在于,其包括:包含多孔体的被连接体;将被连接体的端部彼此接合的连接材料A;和熔接材料A,该熔接材料A配置在被连接体与连接材料A之间、渗透被连接体的多孔体的空隙部的至少一部分并且将被连接体与连接材料A彼此粘合。
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公开(公告)号:CN104427447A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201410418443.2
申请日:2014-08-22
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: A61B8/4494 , A61B5/0095 , B06B1/0292 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H02N1/08
Abstract: 本发明涉及电容变换器及其制造方法。提供一种具有振动膜被支撑以能够振动的结构的电容变换器的制造方法。所述方法包括:在第一电极上形成牺牲层;在牺牲层上形成形成振动膜的至少一部分的层;去除牺牲层,包含形成与牺牲层连通的蚀刻孔;形成用于密封蚀刻孔的密封层;以及,蚀刻密封层的至少一部分。在形成密封层之前,在形成振动膜的至少一部分的层上形成蚀刻停止层。在蚀刻密封层的至少一部分的步骤中,去除密封层,直到到达蚀刻停止层。
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