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公开(公告)号：CN105589296A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201510736950.5
申请日：2015-11-03
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种压印系统及物品的制造方法。所述压印系统包括：处理单元，其被构造为进行压印处理，所述处理单元包括被构造为向基板上供给压印材料的液滴的分配器；库，其被构造为管理不同的多个配给图，所述多个配给图各自表示要从所述分配器供给到所述基板上的液滴的供给位置和供给量中的至少一者；以及控制单元，其被构造为基于关于由模具和所述分配器中的至少一者随时间的改变而导致的所述压印处理的结果的改变的信息，从在所述库中管理的所述多个配给图中，选择要在所述压印处理中使用的一个配给图。
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公开(公告)号：CN105759566A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610007113.3
申请日：2016-01-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供压印装置、压印方法以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：倾斜单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地倾斜；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光之间的干涉图案；以及控制单元，其被构造为，基于在所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触的状态下、由所述检测单元检测到的所述干涉图案，控制所述倾斜单元，以减小在所述状态下、所述模具和所述基板之间的相对倾斜。
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公开(公告)号：CN105988287B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201610154452.4
申请日：2016-03-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供压印系统及物品的制造方法。所述压印系统进行通过使用模具来使基板上的压印材料形成图案的压印处理，并且所述压印系统包括：多个处理单元，其各自包括将所述压印材料供给到所述基板上的分配器，并且被构造为进行所述压印处理；库，其被构造为管理多个布局信息；以及控制单元，其被构造为在由第一处理单元使用的模具被第二处理单元使用的情况下，基于所述第一处理单元与所述第二处理单元之间的所述压印处理的条件的差异，通过使用具有与针对由所述第一处理单元使用的布局信息的所述压印处理的条件的差异相对应的差异的布局信息，来控制所述第二处理单元。
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公开(公告)号：CN105988287A
公开(公告)日：2016-10-05
申请号：CN201610154452.4
申请日：2016-03-17
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供压印系统及物品的制造方法。所述压印系统进行通过使用模具来使基板上的压印材料形成图案的压印处理，并且所述压印系统包括：多个处理单元，其各自包括将所述压印材料供给到所述基板上的分配器，并且被构造为进行所述压印处理；库，其被构造为管理多个布局信息；以及控制单元，其被构造为在由第一处理单元使用的模具被第二处理单元使用的情况下，基于所述第一处理单元与所述第二处理单元之间的所述压印处理的条件的差异，通过使用具有与针对由所述第一处理单元使用的布局信息的所述压印处理的条件的差异相对应的差异的布局信息，来控制所述第二处理单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105589296B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201510736950.5
申请日：2015-11-03
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种压印系统及物品的制造方法。所述压印系统包括：处理单元，其被构造为进行压印处理，所述处理单元包括被构造为向基板上供给压印材料的液滴的分配器；库，其被构造为管理不同的多个配给图，所述多个配给图各自表示要从所述分配器供给到所述基板上的液滴的供给位置和供给量中的至少一者；以及控制单元，其被构造为基于关于由模具和所述分配器中的至少一者随时间的改变而导致的所述压印处理的结果的改变的信息，从在所述库中管理的所述多个配给图中，选择要在所述压印处理中使用的一个配给图。
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公开(公告)号：CN106019823A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610195908.1
申请日：2016-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和制品制造方法。提供了一种通过使用模具和压印材料在基板的多个区域上顺序地形成图案的压印设备。该压印设备包括：移动单元，该移动单元被构造成在承载所述基板的同时沿着水平平面移动；以及调节单元，该调节单元被构造成调节所述模具相对于所述基板的倾角。所述调节单元基于与设置在所述基板上的压印材料的状态有关的信息以及与图案形成顺序有关的信息来调节所述模具相对于所述基板的倾角。与所述基板上的压印材料的状态有关的信息可随着所述移动单元的移动而变化。
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公开(公告)号：CN106019823B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201610195908.1
申请日：2016-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明涉及压印设备、压印方法和制品制造方法。提供了一种通过使用模具和压印材料在基板的多个区域上顺序地形成图案的压印设备。该压印设备包括：移动单元，该移动单元被构造成在承载所述基板的同时沿着水平平面移动；以及调节单元，该调节单元被构造成调节所述模具相对于所述基板的倾角。所述调节单元基于与设置在所述基板上的压印材料的状态有关的信息以及与图案形成顺序有关的信息来调节所述模具相对于所述基板的倾角。与所述基板上的压印材料的状态有关的信息可随着所述移动单元的移动而变化。
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公开(公告)号：CN105759566B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201610007113.3
申请日：2016-01-05
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供压印装置、压印方法以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：倾斜单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地倾斜；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光之间的干涉图案；以及控制单元，其被构造为，基于在所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触的状态下、由所述检测单元检测到的所述干涉图案，控制所述倾斜单元，以减小在所述状态下、所述模具和所述基板之间的相对倾斜。
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公开(公告)号：CN106019824A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610195961.1
申请日：2016-03-31
Applicant: 佳能株式会社
IPC: G03F7/00
Abstract: 这里提供了一种压印装置，所述压印装置通过使用模具和压印材料而顺序地在基体的多个区域上形成图案。所述装置包括：运动单元，所述运动单元构造成可在承载基体的同时沿水平平面运动，压印材料提供于所述基体上；以及施加单元，所述施加单元构造成根据与压印材料的状态相关的信息和与图案形成顺序相关的信息而将压印材料施加于基体上，与压印材料的状态相关的信息随着运动单元的运动而变化。还提供了一种当通过使用模具和压印材料在基体上形成图案时创建施加在基体上的压印材料的分配数据的创建方法、压印方法和物品制造方法。
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