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公开(公告)号：CN1976811A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021431.5
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2002/14475 , G03F7/038
Abstract: 根据本发明，排液头的制造方法包括以下步骤：在其上设置有能量产生元件的基材上沉积用于形成流路的固体层，该能量产生元件用来产生用于排出液体的能量，在其中安装有该固体层的基材上形成用于覆盖该固体层的涂层，通过光刻工艺，在该固体层上形成的涂层中形成用来排出液体的排出口，和将该固体层除去以形成与该能量元件和该排出口连通的流路，其中用于该涂层的材料包含阳离子可聚合化合物、阳离子光致聚合作用引发剂和阳离子光致聚合作用的抑制剂，和其中与其中形成该涂层的排出口的部分形成边界的固体层的材料包含甲基丙烯酸酐和甲基丙烯酸酯的共聚物。
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公开(公告)号：CN1880080A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200610092831.1
申请日：2006-06-16
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 服田麻纪
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1631
Abstract: 本发明提供一种用来制造排液头的方法，该排液头包括：能量产生元件，用来产生用于排出液体的能量；排出口，用来排出液体；及通道，用于将液体供给到排出口。该方法包括如下步骤：在设有能量产生元件的基板上形成叠层，这样叠层包括具有用来形成通道的光屏蔽膜图案的多个层叠负性光敏树脂层，光屏蔽膜图案布置在其之间；对设置成在叠层中包括负性光敏树脂层通道的部件的部分进行曝光；及除去叠层中的负性光敏树脂层的未曝光部分。
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公开(公告)号：CN1977219B
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200580021473.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号：CN1880080B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200610092831.1
申请日：2006-06-16
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 服田麻纪
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1631
Abstract: 本发明提供一种用来制造排液头的方法，该排液头包括：能量产生元件，用来产生用于排出液体的能量；排出口，用来排出液体；及通道，用于将液体供给到排出口。该方法包括如下步骤：在设有能量产生元件的基板上形成叠层，这样叠层包括具有用来形成通道的光屏蔽膜图案的多个层叠负性光敏树脂层，光屏蔽膜图案布置在其之间；对设置成在叠层中包括负性光敏树脂层通道的部件的部分进行曝光；及除去叠层中的负性光敏树脂层的未曝光部分。
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公开(公告)号：CN101103311B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200580021433.4
申请日：2005-06-24
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , C08G59/18 , C08G59/40 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/40
Abstract: 阳离子可光致聚合环氧树脂组合物包括环氧树脂、阳离子光致聚合引发剂、阳离子聚合抑制剂和具有氟代烷基基团并且在其末端具有取代基的化合物，其中该取代基允许与该环氧树脂的环氧基发生交联反应。该阳离子可光致聚合环氧树脂组合物还包括热阳离子聚合催化剂。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1968815B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200580019601.6
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: G03F7/038 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2002/14475 , Y10T29/49401
Abstract: 根据本发明，一种用于制造排液头的方法包括步骤：在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上，形成用于形成流路的固体层(3)；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4)；在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7)；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8)，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。
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公开(公告)号：CN1977219A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200580021473.9
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1603 , B41J2/1404 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , B41J2202/11 , G03F7/095 , Y10T29/49401
Abstract: 一种用于制造微细结构的方法，包括：形成要由第一波长范围的致电离辐射曝光的第一致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；在第一正性光敏材料层上形成要由第二波长范围的致电离辐射曝光的第二致电离辐射分解型正性抗蚀剂层的步骤；通过在作为上层的上述第二正性光敏材料层中进行分解反应而不在上述第一正性光敏材料层中进行分解反应，并用显影液进行显影，从而在所述第二正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤；以及，通过在预定区域中进行分解反应并进行显影，在作为下层的所述第一正性光敏材料层中形成所需的图案的步骤。从而，在所述衬底中制造出凸形图案。
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公开(公告)号：CN1951696A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610136289.5
申请日：2006-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 一种液体排送头，其包括：基底，其具有能量发生元件，用于产生排送液体所需的能量；排送端口，其用于排送液体，并被设置成与能量发生元件成相对的关系；壁板构件，其围成了腔室，该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量；排送部分，其形成了连接腔室与排送端口的流体通路；供应通路，其便于将液体输送到所述腔室中；以及成对的中空部分，它们被设置在壁板构件中，其中，中空部分相互对置，且在从排送端口到基底的方向上，中空部分至少夹置着整个排送端口，且中空部分与腔室是独立的。
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公开(公告)号：CN100522620C
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200610136289.5
申请日：2006-10-17
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1404 , B41J2/1603 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1639 , B41J2/1645 , Y10T29/49401
Abstract: 一种液体排送头，其包括：基底，其具有能量发生元件，用于产生排送液体所需的能量；排送端口，其用于排送液体，并被设置成与能量发生元件成相对的关系；壁板构件，其围成了腔室，该腔室适于存贮由能量发生元件产生的、排送液体所需的能量；排送部分，其形成了连接腔室与排送端口的流体通路；供应通路，其便于将液体输送到所述腔室中；以及成对的中空部分，它们被设置在壁板构件中，其中，中空部分相互对置，且在从排送端口到基底的方向上，中空部分至少夹置着整个排送端口，且中空部分与腔室是独立的。
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公开(公告)号：CN100496984C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200580021431.5
申请日：2005-06-27
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: B41J2/1639 , B41J2/1603 , B41J2/1631 , B41J2002/14475 , G03F7/038
Abstract: 根据本发明，排液头的制造方法包括以下步骤：在其上设置有能量产生元件的基材上沉积用于形成流路的固体层，该能量产生元件用来产生用于排出液体的能量，在其中安装有该固体层的基材上形成用于覆盖该固体层的涂层，通过光刻工艺，在该固体层上形成的涂层中形成用来排出液体的排出口，和将该固体层除去以形成与该能量元件和该排出口连通的流路，其中用于该涂层的材料包含阳离子可聚合化合物、阳离子光致聚合作用引发剂和阳离子光致聚合作用的抑制剂，和其中与其中形成该涂层的排出口的部分形成边界的固体层的材料包含甲基丙烯酸酐和甲基丙烯酸酯的共聚物。
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